Тестирование МЭМС / НЭМС
Задача состоит в проведении испытаний на усталость и надежность на новых устройствах МЭМС / НЭМС для проверки перемещений новых конструкций. Испытания in situ на SEM или под оптическим микроскопом часто предпочтительны на этапе научных исследований и разработок, чтобы можно было быстро обнаружить аномалии или дефекты. На данном видео используется miBot для деформации кантилевера АСМ под SEM.
- Компактность: 20.5 х 20.5 х 13.6 мм, плечо: 8.3 мм (без рабочего органа)
- 4 степени свободы - X, Y, R, Z
- Масштабируемое разрешение позиционирования от мкм до нм
- Мобильность – интеграция пьезоэлектрических приводов в манипулятор
- Готовые решения для электрических или оптических микроскопов (NANO / MICRO)
- Широкий диапазон применения: электрическое зондирование, анализ дефектов, манипулирование