Улучшенный ионный напылитель

  • Модульный и компактный дизайн
  • Три устройства в одном: ионный напылитель; термический испаритель; тлеющий разряд
  • Автоматическая подача углерода с возможностью проведения до 50 проходов нанесения
  • Широкий выбор мишеней: золото, платина, углерод, (оксид индия-олова), и т.д.

Производитель Seron Technologies

Описание

Представляет собой оборудование для пробоподготовки образцов перед измерением с помощью SEM. Данная модель включает в себя несколько функциональных устройств: ионный напылитель, термический испаритель и устройство тлеющего дугового разряда.

Отличительные особенности

  • Модульный и компактный дизайн
  • Объединение трех устройств в одном: ионный напылитель – осаждение металлов; термический испаритель – нанесение углерода; тлеющий разряд – плазменная обработка
  • Процессы термического испарения и плазменной обработки без нарушения вакуума
  • Автоматическая подача углерода с возможностью проведения до 50 проходов нанесения
  • Широкий выбор мишеней: золото, платина, углерод, (оксид индия-олова), и т.д.
  • Возможность удаленной диагностики и обслуживания (TeamViewer)

Технические характеристики

  • Стеклянная рабочая камера: цилиндр с диаметром 120 мм
  • Система безопасности и контроля разрушения камеры из-за низкого давления
  • Круглый предметный столик Ø80 мм, регулируемый по высоте и с возможностью наклона: возможность легкого извлечения для чистки без специальных инструментов
  • Вращающийся или с планетарным движением столик с регулируемой скоростью вращения с различными вариантами крепления образца (опция)
  • Измерение толщины нанесенного покрытия через двойную кварцевую измерительную систему (малые образцы в центре, большие – по краю)
  • Интерфейс для различных рабочих головок с автоматическим распознаванием
  • Оптимизация по различное напряжение питания: 90 – 260 В, переменный ток
  • Хранение с возможностью просмотра последних 10 процессов
  • Функция автоматического подтопления системы в случае потери питания – способствует предотвращению загрязнения рабочей камеры маслом насоса подкачки
  • Сенсорный графический дисплей 5.7”
  • Интуитивный пользовательский интерфейс
  • Графическое отображение данных текущего процесса с помощью Coating LAB

Дополнительные особенности

  • Фланцевое соединение (DN 25 ISO-KF) для подключения внешнего насоса подкачки (LV версия)
  • Может использоваться в качестве насосной установки
  • Выход внешних аварийных сигналов
  • USB интерфейс для простоты анализа и обновления ПО
  • Автоматическое управление клапаном для двух технологических газов и вентиляции
  • 6-мм соединительные фланцы Legris для двух технологических газов и вентиляции
  • Инструменты для замены мишеней и кварцевой камеры
  • USB кабель
  • Кабель питания
  • Различные крепежные принадлежности