Эллипсометр для измерения пленок солнечных элементов Elli-RI

Система измерения толщин пленок солнечных элементов Elli-RI

  • Для высокоточных измерений толщин пленок
  • Измеряемые константы: отражательная способность, толщина пленки, n, k через λ 
  • Производительность: < 1 с на точку (зависит от типа пленки)
  • Хорошо подходит для измерения характеристик различных материалов, особенно антибликовых покрытий SiN

Производитель Ellipso Technology

Структура рефлектометра

  • Источник света: Галогеновая лампа мощностью 150 Вт 
  • Оптическая система: коллимационная оптическая система, волноводная волоконная оптика 
  • Размер светового пятна: 4 мм
  • Спектральный диапазон: 400 ~ 900 нм
  • Спектрограф: ПЗС детектор
  • Интегрирующая сфера 

Применение

  • Полупроводники Si, Ge, SiO2, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs
  • Дисплеи (в т.ч. OLED) MgO, ITO, PR, Alq3 , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS
  • Диэлектрики SiO2, TiO3, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, водные окислы
  • Полимеры красители, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR 
  • Химия органические пленки (OLED) и LB тонкие пленки 
  • Солнечные элементы 
    • Текстурированные моно- и/или мульти- кристаллические смеси 
    • Антиотражающие покрытие (ARC) на текстурированных кремниевых солнечных ячейках (SiNx, AlNx...) 
    • Прозрачные токопроводящие оксиды (ITO, ZnOx, активированный SnO2, AZO) 
    • a-Si, μc-Si, поли-Si 
    • Органические PV материалы 
    • Сенсибилизированные красителями пленки 

Технические характеристики

  • Диапазон длин волн: 400 ~ 950 нм
  • Размер светового пятна: 4 мм
  • Измеряемые константы: отражательная способность, толщина пленки, n, k через λ 
  • Диапазон толщин: 10 нм – 50 мкм (зависит от типа пленки)
  • Число слоев: до 3 (зависит от типа пленки)
  • Производительность: < 1 с на точку (зависит от типа пленки)
  • Повторяемость: ±0.3 нм за 10 измерений (зависит от типа пленки)