Эллипсометр для измерения пленок солнечных элементов Elli-RI

Спектральный рефлектометр Elli-RI

  • Для высокоточных измерений толщин пленок
  • Измеряемые константы: отражательная способность, толщина пленки, n, k через λ 
  • Производительность: < 1 с на точку (зависит от типа пленки)
  • Хорошо подходит для измерения характеристик различных материалов, особенно антибликовых покрытий SiN

Производитель Ellipso Technology

Описание

Система для измерения пленок солнечных элементов

Представляет собой спектральный рефлектометр с интегрирующей сферой (RI) и позволяет выполнять высокоточные измерения толщины пленки. Elli-RI хорошо подходит для определения характеристик различных материалов, особенно антибликовых покрытий из SiN на текстурированных поликристаллических и/или монокристаллических кремниевых солнечных элементах.

Области применения

  • Солнечные элементы
    - Текстурированный моно- и поликристаллические подложки
    - Просветляющие покрытия на текстурированных кремниевых солнечных элементах (SiNX, AlNX)
    - Прозрачные проводящие оксиды (ITO, ZnOX, легированный SnO2, AZO)
    - a-Si, μc-Si, poly-Si
    - Органические материалы для солнечных элементов
    - Пленки, чувствительные к красителям
  • Полупроводники: Si, Ge, SiO2, ONO, ZnO, PR, поликристаллический Si, GaN, GaAs
  • Дисплеи: MgO, ITO, PR, Alq3, CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS
  • Диэлектрики: SiO2, TiO3, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, влажное окисление
  • Полимеры: красители, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR
  • Химия: органические пленки (OLED), тонкие LB пленки

Сервис анализа образцов

Компания Ellipso Technology предлагает аналитические услуги для анализа Ваших образцов

Компания Ellipso Technology предоставляет своим клиентам решение, включающее такие данные, как толщина, показатель преломления, коэффициент затухания и плотность тонкопленочных материалов, а также, другие возможные свойства, которые могут быть исследованы оптическим методом. Точность технологии и точность анализа Ellipso Technology пользуются доверием множества компаний и исследовательских институтов, а также учебных заведений.

Основываясь на знаниях и опыте, накопленных в ходе более чем 2000 запросов, полученных из различных областей за более чем десять лет, Ellipso Technology также предоставляет услуги по консультации клиентов, которые ищут решения вопросов, возникающих в процессе создания тонких пленок.

Небольшой список наших основных клиентов (локальных и зарубежных)

Компании Samsung Electronics, Samsung SDI, Samsung Electro-Mechanics, Samsung Corning, Samsung Advanced Institute of Technology, KCC, LG Electronics, LG Chemical, LG Siltron, Saehan Media, Orion Electric, SKC, Taehan Sugar, DongWoo Fine-Chem, Kolon, KC Tech, Ness Display, Jusung Engineering
Исследовательские центры

Корейский научно-исследовательский институт электротехнологии, Корейский институт машиностроения, Корейский научно-исследовательский институт стандартизации, Корейский научно-исследовательский институт электроники и телекоммуникаций, Корейский институт фундаментальных наук
Образовательные учреждения Kyung Hee University, Seoul National University, Yonsei University, POSTECH, KAIST, Korea University, Sogang University, Ulsan University, Sungkyunkwan University, Hanyang University, Konkuk University, GIST, Chungju National University, Pusan National University, Ajou University, Inha University
Зарубежные компании HORIBA, Ltd. Miwa Opto, (Япония)
Tohoku University (Япония)
ASAHI GLASS (Япония)
Ecole Polytechnique (Франция)
ANWELL (Китай)
INER (Institute of Nuclear Energy Research) (Тайвань)
National Taiwan University (Тайвань)

Стоимость услуги по измерению зависит от градации тестовых образцов для анализа:

  • Единичный образец (подложка, пластина, стекло, т.п.)
  • Несколько одинаковых образцов (например, 50 нм, 100 нм)
  • Неизвестный образец с многослойной структурой
  • PET пленки и новые материалы

В связи с тем, что для обработки запроса на точные измерения различных материалов должны работать самые опытные инженеры, номинальное количество образцов, которые мы можем обработать, составляет 5 образцов за один рабочий день. В некоторых случаях для измерения образца требуется всего 2-3 часа, так как на поверхности образцов после различных условий технологического процесса изготовления получаются самые разнообразные результаты.

Мы надеемся, что Вы понимаете данную ситуацию, а компания Ellipso Technology сделает все возможное, чтобы предоставить более точные и быстрые услуги в самый короткий срок.

Технические характеристики

Измеряемые параметры Толщина пленки, отражательная способность
Диапазон толщин От 20 нм до 50 мкм (зависит от типа пленки)
Рабочий спектральный диапазон 450 – 900 нм
Скорость анализа 1 сек/точка (зависит от типа пленки)
Диаметр измерительного пятна 4 мм
Количество анализируемых слоев До 3 слоев (зависит от типа пленки)
Воспроизводимость (3σ) ± 0.3 нм на 10 измерений
Рефлектометрическая система с интегрирующей сферой
Источник света Галогенная лампа, 150 Вт
Оптическая система Коллимационная, с волоконным переносом излучения
Система регистрации Спектрограф с ПЗС-детектором
Похожее оборудованиеВ каталог
  • Для надежного, быстрого и точного измерения толщин пленок
  • Измеряет толщину пленки, n, k через λ, отражательную способность
  • Производительность: 0.5 с на точку
  • Повторяемость ± 1Å при измерении 10 раз
  • Анализ сильных, слабых и нулевых фазовых пленок
  • Определяет оптические оси, параметры Rin и Rth, оси затухания поляризационных пленок
  • Производительность: < 25 с на точку
  • Для исследования характеристик всех типов материалов: диэлектриков, полупроводников, органики и многих других
  • Измеряемые константы: толщина пленки, n, k через λ
  • Производительность 10~15 с на точку(зависит от типа пленки)
  • Энергия импульса до 10 мдж
  • Длительность импульсов < 2 нс
  • Частота следования импульсов до 50 Гц
  • Встроенный генератор синхроимпульса для запуска внешнего оборудования
  • Нанесение тонких пленок на стекле, металле, полупроводниках и других твердых материалах.
  • Скорость вращения 100 – 10000 об/мин.
  • Ускорение 40 - 5000 об/мин/сек
  • Камера 8" - 10'" (в зависимости от модели).
  • Вакуумный держатель подложек.
  • Возможность продувки рабочей камеры инертным газом.
  • Опции управления с ПК, обогрев, УФ осушители.