Сканирующие интерферометры белого света (оптические профилометры)
Компания GLtech представляет широкую линейку сканирующих 3D интерферометров белого света, начиная от самых простых систем академического уровня и заканчивая высокоточными моделями премиум-класса с высокой степенью автоматизации. С помощью данных интерферометров Вы сможете получать различные данные о топографии поверхности исследуемых образцов (профиль, шероховатость, размеры микро- и наноструктур, измерение углов, высот, формы и т.д.), а также строить трехмерные изображения с возможностью сшивания при анализе крупных объектов.
- Разрешение по высоте 0.1 нм
- Вертикальное разрешение: VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм
- Неразрушающий контроль и отсутствие пробоподготовки
- Возможность измерения различных типов образцов: прозрачные, полупрозрачные, непрозрачные и т.п.
Сканирующая интерферометрия находится в одном ряду с технологией атомно-силовой микроскопии: оба метода позволяют измерять тончайшие структуры с вертикальным разрешением более 0.1 нм, а также занимают первое место среди аналогичных методов по возможности измерения широких областей с высокой скоростью сканирования.
Сравнение методов измерения трехмерных профилометров
| Метод | Разрешение по высоте | Преимущества | Недостатки | |
| Оптическая триангуляция | < 1 мкм |
|
|
|
| Лазерная конфокальная микроскопия | < 10 нм |
|
|
|
| Интерферометрия | VSI/VEI | < 0.5 нм |
|
|
| VPI | < 0.1 нм |
|
|
|
| Атомно-силовая микроскопия | < 0.01 нм |
|
|
|