Регуляторы массового расхода для газов

Регулятор представляет собой устройство, используемое для контроля массового расхода различных газов с высокой точностью. Контроллер массового расхода широко используется в следующих областях: для полупроводников, ЖК-дисплеев, производства электрических устройств. Он способен контролировать высокую точность, потому что поток газа и жидкости контролируется массой, и это не зависит от температуры и давления.

Вид каталога:
  • Диапазон регулирования расхода: 2 ~ 100%
  • Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
  • Время отклика: 1 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Диапазон регулирования расхода: 2 ~ 100%
  • Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
  • Время отклика: 1 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
  • Диапазон регулирования расхода: 2 ~ 100%
  • Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
  • Время отклика: 1 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
  • Диапазон регулирования расхода: 2 ~ 100%
  • Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
  • Время отклика: 2 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
  • Диапазон регулирования расхода: 2 ~ 100%
  • Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
  • Время отклика: 1 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
  • Диапазон регулирования расхода: 2 ~ 100%
  • Режим работы клапана: нормально закрытый
  • Время отклика: 1 с; 20%<S.P ≦ 100% 1 с; 2%<S.P ≦ 20% 3 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Привод регулирующего клапана: Соленоидный привод
  • Диапазон регулирования расхода: 2 ~ 100%
  • Режим работы клапана: нормально закрытый
  • Время отклика:  1 с; 3 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Привод регулирующего клапана: Соленоидный привод
  • Диапазон расхода (жидкости) : 12 ~40,000 мг
  • Режим работы клапана: нормально закрытый
  • Время отклика:  10 с
  • Давление выдерживания: 400 кПа
  • Привод регулирующего клапана: Термоклапан
  • Аналоговый выходной сигнал скорости потока: 0~ 5 Впст
  • Рабочее дифференциальное давление : 10-400 кПа
  • Рабочая температура : 5 ~ 50℃ 0 ~ 80% относительная влажность
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Аналоговый выходной сигнал скорости потока : 0~ 5 Впст
  • Рабочее дифференциальное давление: 10-400 кПа
  • Рабочая температура:  80 ~ 100℃ 0 ~ 80% относительная влажность; 100 ~ 120℃ 0 ~ 80% относительная влажность
  • Давление выдерживания: 400 кПа

Регулятор массового расхода состоит из датчика, клапана и электронной платы. Небольшая часть подаваемого газа проходит отдельно через байпасный канал и датчик, встроенный в контроллер. Управление обратной связью контроллера осуществляется путем сравнения выходного сигнала массового расхода, обнаруженного датчиком, и сигнала установки расхода, который в конечном итоге управляет открытием и закрытием клапана.