Нанесение покрытия методом центрифугирования
Приборы SpinNXG от компании Apex Instruments применяются для создания равномерно распределенных пленок различных материалов (в основном полимеров) на твердых поверхностях при помощи центробежной силы.
- Нанесение тонких пленок на стекле, металле, полупроводниках и других твердых материалах.
- Скорость вращения 100 – 10000 об/мин.
- Ускорение 40 - 5000 об/мин/сек
- Камера 8" - 10'" (в зависимости от модели).
- Вакуумный держатель подложек.
- Возможность продувки рабочей камеры инертным газом.
- Опции управления с ПК, обогрев, УФ осушители.
Данный метод нанесения покрытия характеризуется не только простотой, безопасностью, доступностью, а так же используется в тех случаях, когда необходимо получить слой высокого качества. В отличие, например, от нанесения покрытия методом распыления, центрифугирование обеспечивает более высокую однородность толщины пленки. Несмотря на простоту метода, в литературе можно встретить большое количество экспериментальных и теоретических исследований, которые направлены на объяснение зависимости процесса получения покрытия от электрических, оптических и поверхностных характеристик тонких пленок.
Основным критерием получения равномерно распределенного покрытия данным методом, является четкий контроль расхода и испарения жидкости. Этот критерий лежит в основе всех моделей SpinNXG. Особенность приборов заключается в тщательной калибровке вращающегося механизма, что обеспечивает высокую точность частоты вращения двигателя и, как следствие, высокое качество полученного покрытия.