Нанесение покрытия методом центрифугирования

Приборы SpinNXG от компании Apex Instruments применяются для создания равномерно распределенных пленок различных материалов (в основном полимеров) на твердых поверхностях при помощи центробежной силы.

Вид каталога:
  • Нанесение тонких пленок на стекле, металле, полупроводниках и других твердых материалах.
  • Скорость вращения 100 – 10000 об/мин.
  • Ускорение 40 - 5000 об/мин/сек
  • Камера 8" - 10'" (в зависимости от модели).
  • Вакуумный держатель подложек.
  • Возможность продувки рабочей камеры инертным газом.
  • Опции управления с ПК, обогрев, УФ осушители.
  • Рабочий диапазон вращения: от 500 до 8000 об/мин
  • Большой диапазон продолжительности: 1 - 1200 секунд
  • Период разгона: 2-3 секунды.
  • Рабочая камера: диаметр прим. 200 мм с тефлоновым покрытием
  • Рабочий диапазон вращения: от 500 до 6000 об/мин
  • Большой диапазон продолжительности: 1 - 1200 секунд
  • Период разгона: 2-3 секунды.
  • Рабочая камера: диаметр прим. 150 мм с тефлоновым покрытием
  • Рабочий диапазон вращения: от 500 до 12000 об/мин
  • Большой диапазон продолжительности: 1 - 9999 секунд / шаг
  • Период разгона: 2-300 секунды
  • Рабочая камера: диаметр 200 мм с тефлоновым покрытием

Данный метод нанесения покрытия характеризуется не только простотой, безопасностью, доступностью, а так же используется в тех случаях, когда необходимо получить слой высокого качества. В отличие, например, от нанесения покрытия методом распыления, центрифугирование обеспечивает более высокую однородность толщины пленки. Несмотря на простоту метода, в литературе можно встретить большое количество экспериментальных и теоретических исследований, которые направлены на объяснение зависимости процесса получения покрытия от электрических, оптических и поверхностных характеристик тонких пленок.

Основным критерием получения равномерно распределенного покрытия данным методом, является четкий контроль расхода и испарения жидкости. Этот критерий лежит в основе всех моделей SpinNXG. Особенность приборов заключается в тщательной калибровке вращающегося механизма, что обеспечивает высокую точность частоты вращения двигателя и, как следствие, высокое качество полученного покрытия.