Установки для лазерной микрообработки

Стандартные системы



Тип лазера

DPSS, пс

DPSS, фс

DPSS, пс

DPSS, пс / фс

Длина волны лазера

1064/532/355 нм

1030/515/343 нм

1064/532/355 нм

1064 / 1030 нм

Средняя мощность

60 Вт на 1064 нм

15 Вт на 1030 нм

6 Вт на 1064 нм

6 / 4 Вт

Длительность импульса

< 13 пс

< 290 фс

< 10 пс

< 10 пс / < 290 фс

Диапазон перемещений столика

XYZ: 400×300×100 мм + XY: 50×50 мм

XYZ: 400×300×100 мм + XY: 50×50 мм

100×100 мм / ручная подстройка по XYZ

XY: 300×300 мм

Скорость перемещения

100 – 500 мм/с

250 – 500 мм/с

12 мм/с

до 300 мм/с

Точность

2.5 мкм / 300 нм

2.5 мкм / 300 нм

XYZ: ± 2.5 мкм; R/T: ± 0.1°

Воспроизводимость

0.5 мкм

0.5 мкм / 75 нм

2 мкрад

Кастомные (пользовательские) системы

Тип лазера

DPSS, пс

DPSS, Nd:YVO4

DPSS, нс

Длительность импульса

< 13 пс

< 13 пс

< 7 нс

Диапазон перемещений столика

Макс. скорость намотки: 30 м/мин

XYZ: 600×400×100 мм + XY: 150×150 мм + R/T

XYZ: 175×175×25 мм