Аналитический вакуумный спектрофотометр дальнего УФ VUVAS 2000

  • Работа в условиях глубокого вакуума, измерения в дальней УФ области спектра
  • Рабочий диапазон 120 – 350 нм
  • Степень вакуумирования: 10-6 торр
  • Полоса пропускания: 1 – 8 нм (регулируемая)
  • Точность калибровки: 0.1 нм

Производитель McPherson

Описание
Характеристики

Описание

Система VUVAS 2000 представляет собой аналитический спектрофотометр, работающий в условиях глубокого вакуума и позволяющий проводить измерения в дальней УФ области спектра. Данная система является оптически скорректированной, имеет две системы регистрации и предназначена для измерения твердых, жидких или газообразных образцов.

Даннная система можеть быть создана на основе УФ монохроматора McPherson 234/302.

VUVAS имеет рабочий диапазон 120 – 350 нм и работает либо в условиях вакуума, либо за счет продувки. Дейтериевая лампа с выходным окном из фтористого магния совместно со светоотражающим конденсором и оптимизированным вакуумным монохроматором модели 234/302 обеспечивают эффективную передачу излучения во всем рабочем диапазоне для достижения наилучшего отношения сигнал/шум. Измерения проводятся с помощью коллимированного пучка – это позволяет использовать разнообразные конфигурации исследуемых образцов и обеспечивает высокий уровень сигнала на детекторе(-ах). Оптически модулированные сигналы (эталонный и для образца) поступают на эталонный детектор и детектор в камере образца. Восстановление переменного сигнала позволяет избавиться от шума, что приводит к улучшению получаемых данных.

Положение углов падения излучения на образец и сигнала на детектор выбирается вручную и определяется с помощью установленных шкал. Установка углов производится в условиях вакуума или во время продувки. Исследуемый образец и детектор можно перемещать независимо друг от друга. С помощью такой системы можно измерять как зеркальное отражение, так и рассеяние. Измерение пропускания осуществляется за счет построения графика зависимости пропускания от длины волны, данные из которого затем легко преобразовать в единицы поглощения с помощью постобработки.

Система VUVAS поставляется совместно с вакуумным насосом или автоматической системой продувки газом и вакуумным манометром. Простое и понятное программное обеспечение (на основе LabView) позволяет управлять параметрами измерения и записывать сигнал.

Система VUVAS 2000 всегда предоставляет гарантированные результаты:

Принцип работы

Система VUVAS 2000 позволяет проводить измерения пропускания, отражения, рассеяния и поглощения (для последних двух требуется постобработка полученных данных). 

Во время работы оптический модулятор разделяет луч на два пучка: для эталонного измерения и для измерения образца. Частота модуляции составляет 90 Гц. В стандартный держатель образца может устанавливаться до трех образцов диаметром до 25 мм и толщиной до 6 мм. По запросу возможно проектирование других держателей образцов, пожалуйста, уточняйте информацию. Также доступны держатели для измерения пропускания и построения пространственной карты поверхности больших образцов (например, полупроводниковые подложки).

Программное обеспечение

Оптическая система с улучшенным УФ покрытием оптимизирована с помощью компьютера. Система VUVAS в исполнении с системой продувки поставляется совместно с модулем управления.

Простое программное обеспечение позволяет устанавливать параметры сканирования, длину волны, а также управляет записью сигнала. Графический пользовательский интерфейс обновляет данные об измерении непосредственно во время процесса сканирования. Данные сохраняются в формате ASCII или .spc и представляют собой зависимость отражения (или пропускания) от длины волны. Также возможен сбор данных в виде напряжения. Система оснащена ПК для удобства работы.

Общая конфигурация системы

Вашему выбору доступно несколько вариантов конфигурации системы для оптимизации измерений:

  • Конфигурация для измерения нескольких больших образцов
  • Конфигурация для измерения проточных газовых образцов
  • Конфигурация с криогенным держателем образцов

Технические характеристики

Рабочий диапазон длин волн 120 – 350 нм
Степень вакуумирования 10-6 торр
Система продувки азотом Опционально
Точность системы на 157 нм СКО 0.05%
Точность системы общая СКО < 0.3%
Стабильность (за 1 час) СКО < 0.5%
Полоса пропускания 1 – 8 нм (регулируемая)
Точность калибровки 0.1 нм
Воспроизводимость по длине волны 0.05 нм
Величина шага двигателя 0.00006 нм
Измерительный луч Коллимированный
Диапазон углов установки образца 0 – 60°
Диапазон углов установки детектора 10 – 180°
Детектор Сцинтиллятор R6095
Поляризатор Опционально
Ограничивающая ирисовая диафрагма Опционально
Габаритные размеры 1540 × 1250 × 1100 мм
Электропитание 110 В/ 30 А или 220 – 240 В/20 А
Потребление воды 2 л/мин