Определение динамических характеристик резонатора МЭМС

 

  

Устройства МЭМС обычно состоят из компонентов размером меньше нескольких сотен микрон. Эти размеры могут затруднить доступ к электрическим контактам или другим компонентам устройства МЭМС.

На данном видео два микроманипулятора miBot используются для размещения вольфрамовых зондов с целью подачи возбуждающего сигнала на электротермический резонатор МЭМС. Силиконовая мембрана устройства МЭМС должна быть охарактеризована с помощью цифровой голографической микроскопии (DHM) для определения ее резонансных частот и изображения ее деформации.

Также в данном эксперименте использовали зонд miBot для механической деформации кремниевой мембраны резонатора МЭМС без каких-либо изменений образца или установки.

Выполнено в сотрудничестве с Lyncée Tec SA, Lausanne, Switzerland

Продукты, используемые для данной задачи:

  • Компактность: 20.5 х 20.5 х 13.6 мм, плечо: 8.3 мм (без рабочего органа)
  • 4 степени свободы - X, Y, R, Z
  • Масштабируемое разрешение позиционирования от мкм до нм
  • Мобильность – интеграция пьезоэлектрических приводов в манипулятор
  • Готовые решения для электрических или оптических микроскопов (NANO / MICRO)
  • Широкий диапазон применения: электрическое зондирование, анализ дефектов, манипулирование
Узнать цену