Определение динамических характеристик резонатора МЭМС
Устройства МЭМС обычно состоят из компонентов размером меньше нескольких сотен микрон. Эти размеры могут затруднить доступ к электрическим контактам или другим компонентам устройства МЭМС.
На данном видео два микроманипулятора miBot используются для размещения вольфрамовых зондов с целью подачи возбуждающего сигнала на электротермический резонатор МЭМС. Силиконовая мембрана устройства МЭМС должна быть охарактеризована с помощью цифровой голографической микроскопии (DHM) для определения ее резонансных частот и изображения ее деформации.
Также в данном эксперименте использовали зонд miBot для механической деформации кремниевой мембраны резонатора МЭМС без каких-либо изменений образца или установки.
Выполнено в сотрудничестве с Lyncée Tec SA, Lausanne, Switzerland
Продукты, используемые для данной задачи:
- miBot BT-11-Р
- miBase BS-42-P
- syDrive SD-10
- Компактность: 20.5 х 20.5 х 13.6 мм, плечо: 8.3 мм (без рабочего органа)
- 4 степени свободы - X, Y, R, Z
- Масштабируемое разрешение позиционирования от мкм до нм
- Мобильность – интеграция пьезоэлектрических приводов в манипулятор
- Готовые решения для электрических или оптических микроскопов (NANO / MICRO)
- Широкий диапазон применения: электрическое зондирование, анализ дефектов, манипулирование