Определение электромеханических характеристик органических кантилеверов МЭМС

 

 

Цель данной статьи заключается в определении электромеханических характеристик органических пьезорезистивных микрокантилеверов, разработанных в лаборатории IMS Университета Бордо во Франции, с повышенной чувствительностью. Микроманипуляторы miBot использовали для определения характеристик этих систем благодаря возможностям электрического зондирования, субмикронному разрешению позиционирования и высокой механической стабильности.

Результаты определения характеристик позволяют оценить комбинацию нанокомпозитов на основе УНТ, интегрированных в органические микрокантилеверы, для создания высокочувствительных, компактных и недорогих тензодатчиков МЭМС.

Благодаря простоте использования микророботов компании Imina Technologies удалось быстро провести несколько экспериментальных запусков для оценки различной массовой доли нанокомпозита CNT/SU-8 и выбора оптимальной конструкции.

Место проведения эксперимента: IMS, University of Bordeaux, Bordeaux, France

Ссылки:

D. Thuau C. Ayela, P. Poulin, I. Dufour, Highly piezoresistive hybrid MEMS sensors, Sensors and Actuators A 209 (2014) 161–168. http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2014.01.037

Продукты, используемые для данной задачи:

  • Компактность: 20.5 х 20.5 х 13.6 мм, плечо: 8.3 мм (без рабочего органа)
  • 4 степени свободы - X, Y, R, Z
  • Масштабируемое разрешение позиционирования от мкм до нм
  • Мобильность – интеграция пьезоэлектрических приводов в манипулятор
  • Готовые решения для электрических или оптических микроскопов (NANO / MICRO)
  • Широкий диапазон применения: электрическое зондирование, анализ дефектов, манипулирование
Узнать цену