Определение характеристик I-V тонкопленочных транзисторов на основе графена

 

 

Одной из ключевых проблем при определении электрических характеристик тонкопленочных транзисторов (TFT) является посадка зондов на тонкие электроды без проникновения в них, так как это приводит к неправильному определению характеристик и повреждению устройства.

В данной статье сообщается об успешном использовании микроманипуляторов miBot для решения этой проблемы. Тестируемое устройство представляет собой TFT с графеновым каналом. Исток и сток состоят из проводящих электродов толщиной 100 нм. Канал, исток и сток смонтированы на гибком изоляционном материале толщиной 100 нм, нанесенном на электропроводящую подложку, действующую как диэлектрик затвора и электрод соответственно.

Время проведения этого эксперимента также было значительно сокращено благодаря практически неограниченному диапазону перемещения микроманипуляторов miBot по сравнению с традиционными ручными зондами.

Выполнено в сотрудничестве с Microsystems Laboratory, EPFL, Lausanne, Switzerland (http://lmis1.epfl.ch)

Продукты, используемые для данной задачи:

  • miBot BT-11-Р
  • miBase BS-42-P
  • syDrive SD-10 

  • Компактность: 20.5 х 20.5 х 13.6 мм, плечо: 8.3 мм (без рабочего органа)
  • 4 степени свободы - X, Y, R, Z
  • Масштабируемое разрешение позиционирования от мкм до нм
  • Мобильность – интеграция пьезоэлектрических приводов в манипулятор
  • Готовые решения для электрических или оптических микроскопов (NANO / MICRO)
  • Широкий диапазон применения: электрическое зондирование, анализ дефектов, манипулирование
Узнать цену