Тестирование МЭМС / НЭМС

Задача состоит в проведении испытаний на усталость и надежность на новых устройствах МЭМС / НЭМС для проверки перемещений новых конструкций. Испытания in situ на SEM или под оптическим микроскопом часто предпочтительны на этапе научных исследований и разработок, чтобы можно было быстро обнаружить аномалии или дефекты. На данном видео используется miBot для деформации кантилевера АСМ под SEM.

  • Компактность: 20.5 х 20.5 х 13.6 мм, плечо: 8.3 мм (без рабочего органа)
  • 4 степени свободы - X, Y, R, Z
  • Масштабируемое разрешение позиционирования от мкм до нм
  • Мобильность – интеграция пьезоэлектрических приводов в манипулятор
  • Готовые решения для электрических или оптических микроскопов (NANO / MICRO)
  • Широкий диапазон применения: электрическое зондирование, анализ дефектов, манипулирование
Узнать цену