Локализация короткого замыкания металлических слоев при модификации схемы с помощью методов EBAC и FIB, выполненная при наклоне столика 54°

   

В области анализа дефектов полупроводников стало популярным использование тока, поглощаемого электронным пучком (EBAC), в сочетании с FIB в ​​двойных пучках для исследования коротких замыканий и разрывов между металлическими линиями.

В данном варианте применения описывается локализация дефекта короткого замыкания между двумя сетями на специализированной ИС от автомобильной промышленности. Эти сети пересекают друг друга в четырех разных местах.

Использовали комбинацию FIB с изображениями EBAC для определения точки пересечения, где находится короткое замыкание с помощью следующей процедуры:

  • Столик микроскопа был доведен до угла наклона 54°.
  • Два зонда прикрепили на одну из сетей и на землю соответственно.
  • Для каждой точки пересечения были записаны изображения EBAC до и после FIB на одной из сетей, близких к пересечению.
  • Сравнение изображений EBAC до и после FIB позволило определить местоположение короткого замыкания

Данный вариант применения демонстрирует способность нанозондов miBot™ точно позиционировать и прикреплять зонды при наклоне предметного столика микроскопа.

Место проведения эксперимента: Fraunhofer CAM, Halle, Germany 

Подробная информация:

  • Компактность: 20.5 х 20.5 х 13.6 мм, плечо: 8.3 мм (без рабочего органа)
  • 4 степени свободы - X, Y, R, Z
  • Масштабируемое разрешение позиционирования от мкм до нм
  • Мобильность – интеграция пьезоэлектрических приводов в манипулятор
  • Готовые решения для электрических или оптических микроскопов (NANO / MICRO)
  • Широкий диапазон применения: электрическое зондирование, анализ дефектов, манипулирование
Узнать цену