Ориентированная укладка кремниевых подложек в штабеля

Сверхбыстрое измерение ориентации и кривой качания кристаллов

Рентгеновский дифрактометр Omega/Theta представляет собой полностью автоматизированный вертикальный трехосевой дифрактометр для определения ориентации оптической оси различных кристаллов с использованием «Omega-scan» и «Theta-scan» методов.

Схема производственного процесса с применением дифрактометра Omega/Theta

 схема производственного процесса

  • Скорость измерения: < 5 сек на одно измерение; в 200 раз быстрее «Theta-scan» метода
  • Увеличение мощностей: ориентирование до 12 заготовок в одном штабеле
  • Надежность > 99%: прочный инструмент промышленного класса для сложных исследований материалов и контроля качества
  • Универсальность: определение ориентации и полиморфного типа SiC (2H, 4H, 6H, 15R) и более 40 других материалов
  • Высочайшее разрешение: точность определения угла наклона до 0.001°
  • Модульный дизайн: возможность апгрейда и кастомизации в будущем с помощью различных опций конфигурации

«Omega-scan» метод – Определение полной ориентации кристалла всего за 5 с

Специальные применения

  • Ориентационное картирование турбинных лопастей (монокристаллические суперсплавы на основе никеля)
  • Определение параметров кристаллической решетки (твердые фазы Si и Ge)

Программное обеспечение XRDStudio

Расширенное и интуитивно-понятное программное обеспечение с широким набором функций, таких как:

  • Различные режимы работы
    - Режим оператора: для измерения фиксированных параметров и обеспечения безопасности рабочего процесса
    - Режим администратора: для изменения/создания новых скриптов и для адаптации прибора к новым материалам
  • Управляемый пользовательский интерфейс для удобства работы
  • Предустановленные и кастомизируемые рабочие скрипты
  • Автоматическое отображение результатов измерений и корректировка значений для выравнивания ориентации кристалла
  • Опции картирования
  • Функции экспорта и импорта данных

Дополнительные элементы конфигурации

  • Лазерный сканер для измерения формы образца
  • Фотокамера и обработка изображения для распознавания горизонтальных поверхностей и насечек
  • Дополнительная ось вращения образца для трехмерного картирования
  • Вторичный канальный коллиматор (анализатор)
  • Перемещение вдоль осей и для картирования ориентации
  • Азимутальная подстройка и маркировка ориентации кристалла
  • Автоматизированное измерение кривой качания с помощью «Theta-scan» метода

Приборы для ориентированной укладки кремниевых подложек в штабеля:

  • Дифрактометрия одного кристалла
  • Угловое разрешение 0.1 арксекунда
  • Размер образца до 450 мм
  • Полностью автоматизированное измерение
Узнать цену