Полуавтоматическое тестирование подложки

 

Микроманипуляторы miBot, используемые в сочетании с подходящим столиком для позиционирования по XYZ и оптикой, представляют уникальное сочетание гибкости и возможностей автоматизации для тестирования подложек. Благодаря компактной конструкции miBot, зондовая установка является очень стабильной для позиционирования наконечников зондов с субмикронным разрешением в сантиметровом диапазоне.

Зонды легко контактируют с площадками и линиями, а также быстро адаптируются к различным образцам с помощью управления с ПК через интуитивно понятный графический интерфейс программного обеспечения или панель управления.

 

Процедуры автоматического тестирования могут использоваться для ускорения сбора данных, когда измерения необходимо повторить несколько раз в разных местах пластины, например, в процессе анализа дефектов на подложке.

Автоматизированное электрическое зондирование в микронном масштабе

На видео продемонстрирована автоматическая последовательность действий, в ходе которой два miBot  вводятся в электрический контакт с площадками микронного размера. Процесс настраивается и запускается из программного пакета Precio™.

Более подробная информация:

Узнать больше о доступных кастомных интеграциях

  • Компактность: 20.5 х 20.5 х 13.6 мм, плечо: 8.3 мм (без рабочего органа)
  • 4 степени свободы - X, Y, R, Z
  • Масштабируемое разрешение позиционирования от мкм до нм
  • Мобильность – интеграция пьезоэлектрических приводов в манипулятор
  • Готовые решения для электрических или оптических микроскопов (NANO / MICRO)
  • Широкий диапазон применения: электрическое зондирование, анализ дефектов, манипулирование
Узнать цену