Система нанесения париленовых покрытий ETPC-200150

Установка нанесения париленовых покрытий ETPC-200150 (промышленный / крупносерийный класс) реализует процесс химического осаждения p-ксилилена из газовой фазы (Parylene CVD) с формированием равномерной, бесшовной и беспоровой плёнки толщиной от 0,1 до 100 мкм. Процесс проходит в вакууме, где пар парилена осаждается на поверхности молекула за молекулой, формируя бесшовный слой, покрывающий даже микроскопические детали. Прибор предназначен для крупносерийного производства печатных плат больших форматов, покрытия тяговой электроники электромобилей, аэрокосмической и космической электроники, многослойных композитных покрытий со ступенчатой барьерной структурой.

Установки для нанесения париленовых покрытий предназначены для создания ультратонких, равномерных и защитных полимерных пленок на сложных изделиях, обеспечивая влагозащиту, диэлектрическую изоляцию, биосовместимость и снижение трения, что невозможно достичь другими методами.

Особенности:

• Класс: промышленный / крупносерийный класс; камера 2000 × 1500 мм; габариты установки 5000 × 2000 × 2300 мм.
• Метод химического осаждения из газовой фазы (Parylene CVD): сублимация димера, пиролиз при ~680 °C, полимеризация на поверхности изделия в вакууме при комнатной температуре.
• Совместимость со всеми типами парилена: Parylene N / C / D / HT (AF-4).
• Толщина покрытия 0,1–100 мкм, типичный диапазон 1–25 мкм, равномерность ±2 % на 3D-геометрии.
• Вакуумная система: роторно-лопастной 3500 л/мин + бустерный насос; рабочий вакуум на уровне 0,1 Тор.
• Защита насоса: криогенный насос с бустерной откачкой — продление межсервисного интервала и стабильность процесса от цикла к циклу.
• Камера и контактные с продуктом части — нержавеющая сталь AISI 304.
• Управление: ПК — программный цикл, многослойные рецептуры с протоколированием.
• Многослойное покрытие: до 100 микрослоёв за цикл — построение многослойных композитных покрытий.
• Питание: 220 В трёхфазное, 100 А, 60 Гц.
• Срок поставки в РФ: 14–18 недель; гарантия 12 месяцев; шеф-монтаж и обучение операторов.
• Производитель: Embody Tech Co., Ltd. (Республика Корея); поставка в РФ — ООО «Промэнерголаб» (44-ФЗ / 223-ФЗ).

Установка ETPC-200150 реализует трёхступенчатый процесс Parylene CVD в едином вакуумном тракте.

На первой стадии в испарителе сублимируется кристаллический димер p-ксилилена (или его галогенированные/фторированные аналоги) при температуре 100–150 °C. Пары димера попадают в зону пиролиза при ~680 °C, где происходит термическое расщепление до реакционноспособного мономера p-ксилилена. Мономер, проходя через осадочную камеру при комнатной температуре и давлении ~0,1 Тор, полимеризуется на всех экспонированных поверхностях изделия с образованием равномерной плёнки. Непрореагировавшие мономеры улавливаются охлаждаемой ловушкой (криогенный насос с бустерной откачкой) перед вакуумным насосом (роторно-лопастной 3500 л/мин + бустерный насос).

Камера (2000 × 1500 мм) выполнена из нержавеющей стали AISI 304. Управление цикла: ПК — программный цикл, многослойные рецептуры с протоколированием; рабочее давление и температура пиролиза задаются и регистрируются в технологической программе.

• Камера 2000 × 1500 мм — крупнейшая в серии. Покрытие изделий и партий, недоступных конкурирующим установкам этого ценового сегмента: PCB больших форматов, корпуса крупного приборостроения, тяговая электроника EV.
• Бустерный насос в дополнение к 3500 л/мин. Минимальное достижимое давление и сверхкороткое время откачки — обеспечивает рекордный технологический такт для крупных камер.
• До 100 микрослоёв за цикл. Построение многослойных композитных покрытий со ступенчатой барьерной структурой — уникальная функция для применений в обороне, аэрокосмосе и медицине высокого риска.
• Программируемые рецептуры с протоколированием. Каждый цикл документируется параметрами для систем СМК (ISO 13485, AS9100, AEC-Q200) — готовность к аудитам.
• Промышленная надёжность. Конструкция рассчитана на 24/7-эксплуатацию, ремонтопригодные узлы, предсказуемый сервисный регламент.
• Поставка в РФ через ООО «Промэнерголаб». Поставка по 44-ФЗ и 223-ФЗ, документация на русском языке, гарантия 12 месяцев, шеф-монтаж и обучение операторов.
• Единый российский партнёр на жизненный цикл. Расходные материалы (димеры, ловушки, ЗИП), сервис, методическая поддержка, переаттестация — через одно юридическое лицо в Москве.

• Базовая комплектация: вакуумная камера, испаритель, пиролизный модуль, вакуумный насос, охлаждаемая (криогенная) ловушка, шкаф управления, паспорт, руководство по эксплуатации на русском языке.
• Стартовый набор димеров Parylene C / N (по запросу — D / HT).
• Запасные ловушки и фильтры на первый год эксплуатации.
• Калибровочные тестовые подложки для контроля толщины и адгезии.
• Опционально: кварцевый микровесовой контроль толщины (QCM) для in-situ мониторинга осаждения.
• Опционально: газовый плазменный модуль предобработки (O₂/Ar) для активации поверхности.
• Опционально: силановый адгезионный промотор A-174 (γ-метакрилоксипропилтриметоксисилан) для тяжёлых случаев.
• Опционально: расширенный пакет программного обеспечения с протоколированием по 21 CFR Part 11 (для GMP-производств медтехники).
• Опционально: установка на виброизолирующее основание и шумоизоляция шкафа.
• Шеф-монтаж, пусконаладка, обучение операторов на площадке заказчика.

Производительность вакуумной системы ETPC-200150 (роторно-лопастной 3500 л/мин + бустерный насос) определяет минимальный достижимый вакуум и скорость откачки между циклами. Требуется трёхфазный силовой ввод 220 В, 100 А, 60 Гц — необходима подготовка отдельного силового подключения.

• ETPC-200150 оптимален для сценариев: крупносерийное производство печатных плат больших форматов, покрытие тяговой электроники электромобилей, аэрокосмическая и космическая электроника, многослойные композитные покрытия со ступенчатой барьерной структурой, защита корпусов и узлов приборостроительной аппаратуры в крупных партиях.
• Если требуется отработка рецептуры на меньшем количестве материала — выбирайте ETPC-4035I (R&D-класс).
• Если требуется крупносерийное производство и многослойные покрытия (до 100 микрослоёв) — выбирайте ETPC-200150.
• Серия ETPC спроектирована как масштабируемая: рецептура переносится между моделями без пересчёта.
• Parylene N — лучшее проникновение в узкие зазоры, минимальная диэлектрическая постоянная (≈2,65), прозрачность в УФ — для оптики, СВЧ-электроники, имплантов с тонкими элементами.
• Parylene C — основной выбор для медицины (USP Class VI) и электроники: лучший влагозащитный барьер, экономичность.
• Parylene D — повышенная термостойкость (рабочая температура до 100 °C долговременно).
• Parylene HT (AF-4) — фторированный, термостойкость до 350 °C, низкое газовыделение (ASTM E595) — для аэрокосмоса, медтехники с гамма-стерилизацией.

• Срок поставки: 14–18 недель.
• Гарантия: 12 месяцев с момента ввода в эксплуатацию.
• Шеф-монтаж и пусконаладка: на площадке заказчика силами сертифицированных инженеров.
• Обучение операторов: 3–5 рабочих дней теории и практики на установке.
• Расходные материалы: димеры Parylene, охлаждающие жидкости, фильтры — поставка со склада в Москве и под заказ.
• Сервисное обслуживание и переаттестация: ежегодная или по регламенту заказчика.
• Документация: паспорт, руководство по эксплуатации, программы и методики испытаний (ПМИ), декларация соответствия ТР ТС — на русском языке.
• Соответствие 44-ФЗ и 223-ФЗ: участие в торгах, формирование коммерческого предложения для бюджетного учреждения, заключение прямого договора.

Пришлите задачу нанесения покрытия: типоразмер изделия, требуемый тип парилена (N / C / D / HT), целевую толщину, объём партии и условия эксплуатации. Подберём конфигурацию ETPC-200150 (или другую модель серии ETPC при необходимости), рассчитаем стоимость, составим методику валидации, согласуем условия поставки и обучения. Возможна организация демонстрации процесса на референтной установке.