Системы нанесения париленовых покрытий ETPC-4035I

  • Эффективное и быстрое нанесение покрытий
  • Адаптируемая система для исследований, промышленности и медобслуживания
  • Компактная и передвижная система портативного типа
  • Роторный вакуум-насос для быстрого создания низкого вакуума
  • Охлаждаемая ловушка, установленная для защиты вакуумного насоса, улавливающая избыток парилена
  • Контроль температуры, установленный для контроля скорости испарения парилена

Производитель Embodytech

Особенности

  • Изолированная система для нанесения пленочного покрытия парилена
  • Оптимизированная система для научно-исследовательских работ, мелкосерийного производства
  • Адаптируемая система для исследований, промышленности и медобслуживания
  • Компактная и передвижная система портативного типа

Устройство системы

Главная рабочая камера

  • Вакуумная камера цилиндрического типа
  • Верхняя крышка в виде люка
  • Разнообразная полировка для тонкого удаления газа
  • Материал: SUS304
  • Размер: Ø400х350Н (=44L)

Управление и станины

  • Размер станины: 1100 (W) x 800 (D) x860 (H)
    - Ловушка паров
  • Размер станины: 900 (W) x 800 (D) x 860 (H)
    - Погружная охлаждающая ловушка
  • Управление нагревом: испаритель, пиролизная печь, датчик, люк, и т.д.
  • Управление вращением: различное регулирование скорости
  • Управление вакуумный клапаном
  • Управление вакууметром
  • Возможность выбрать ручной/автоматический режим

Охлаждающая ловушка

  • Форма для легкого и простого очищения
  • Рабочая температура: -70 °С ~ -100 °С

Вакуумный насос

  • Центробежный насос
  • Скорость откачки: 400 л/мин
  • 220 В/ 1 фаза, 50 А (около 10 кВт)

Параметры

Простое функционирование и запуск

Простое обслуживание и очистка

Время нанесения покрытия: менее чем 2 часа (около 5 г димера)

Скорость осаждения: около 2-3 мкм/час

Соотношение тощина/димер=0.7-1 мкм/г

Состав портативной системы:

  • одна система  во всем модуле и блоке

Разнообразные и улучшенные охлаждаемые ловушки:

  • ловушка паров
  • ловушка с жидким азотом
  • погружная охлаждающая ловушка

Прайс-лист

*ETPC – 4035V: Ловушка паров

*ETPC – 4035l: погружная охлаждающая ловушка

*ETPC – 3030U: ловушка с жидким азотом

*Опция:

  • Сигнализация
  • Сенсорный экран
  • Управление с помощью ПК
  • Передняя дверца (по умолчанию дверца располагается сверху)

*Данная продукция может быть выполнена, чтобы заказать

  • Тип камеры, тип охлаждающей ловушки

Спецификация

  • Системы для нанесения пленочного покрытия парилена
  • Оптимальная конструкция для устанавливаемого образца
  • Роторный вакуум-насос для быстрого создания низкого вакуума
  • Охлаждаемая ловушка, установленная для защиты вакуумного насоса, улавливающая избыток парилена
  • Контроль температуры, установленный для контроля скорости испарения парилена
Комплектующая деталь Спецификация
Состав системы:
1. Блок камеры испарителя Характеристики
Исходный контейнер для парилена оптимального размера
Камера с приваренным фронтальным люком
Базовое давление 5 х 10Е-3 торр после полного цикла продувки сухим N2
Состав системы
Материал основания STS304
Разнообразная полировка при небольшой скорости газовыделения
Уплотнительное кольцо для фронтального люка из нержавеющей стали
Макс. 300 °С ленточный нагреватель и вентилятор
Порт для присоединения пиролизной печи
Измерение температуры: термопара типа К
2. Блок пиролизной ячейки Характеристики
2" бесшовная труба SUS
Макс. 900 °С нагреватель Кантал для нагрева пиролизной печи
Базовое давление 5 х 10Е-3 торр после полного цикла продувки сухим N2
Внутренняя труба: кварцевая трубка для легкого очищения и эксплуатации
Состав
Материал основания STS304
Разнообразная полировка при небольшой скорости газовыделения
Соответствующее соединение портов прибора
Измерение температуры: термопара типа К
3. Блок камеры основного процесса Характеристики
Размер: диаметр
Камера с приваренной наружной (передней) дверью
Базовое давление 5 х 10Е-3 торр после полного цикла продувки сухим N2
Состав
Материал основания STS304
Разнообразная полировка при небольшой скорости газовыделения
Уплотнительное кольцо для фронтального люка из нержавеющей стали
Соответствующее соединение измерительных портов
Впускное отверстие парилена: Отверстие фланцевого типа CF
Выпускное отверстие парилена: простая и быстрая сборка и разборка
Смотровое отверстие, расположенное на фронтальном люке, 2 шт.
Порт для вакууметра
Выходное отверстие
4. Блок вакуумирования Характеристики
Совместимость (сопаставимость) с низким вакуумом
Базовое давление 5 х 10Е-3 торр после полного цикла продувки сухим N2
Состав
Блоки низковакуумного насоса:
Система роторного насоса для предварительной откачки
Клапаны предварительной откачки и все техническое обеспечение для предварительной откачки
Гибкий металлический шланг
Зажимное соединение и центрирование
Блоки вакууметра:
Датчик вакууметра
Блок управления вакууметром
Модуль установки заданной величины
5. Держатель образца Характеристики
Вращательное движение
Управление электродвигателем
Контроль скорости вращения
Состав
Держатель образца
Плита Al6061
6. Погружная охлаждающая ловушка Охлаждающая рубашка
7. Блок системы управления и станина Состав
Станина
Железный покрашенный каркас
Легко передвижные ножки
Контрольная панель
Управление с помощью ПК
Сигнализация и блокировка для обеспечения безопасности
Установленный пост сигнализации
Характеристики ПК
ОС: Windows 10 64 бит
Процессор: G4600
Экран: 19 дюймов
ОЗУ: 4 ГБ
SSD256 + HD 1T
Питание: 220 В/ 60 Гц/ 3 фазы/ 100 А
Похожее оборудованиеВ каталог
  • Нанесение тонких пленок на стекле, металле, полупроводниках и других твердых материалах.
  • Скорость вращения 100 – 10000 об/мин.
  • Ускорение 40 - 5000 об/мин/сек
  • Камера 8" - 10'" (в зависимости от модели).
  • Вакуумный держатель подложек.
  • Возможность продувки рабочей камеры инертным газом.
  • Опции управления с ПК, обогрев, УФ осушители.
  • Количество УФ ламп 2 шт.
  • Длина волны излучения 254 нм
  • Энергопотребление 8 Вт на лампу
  • Диаметр поворотного столика (тефлон) 200 мм
  • Количество УФ ламп 2 шт.
  • Длина волны излучения 365 нм
  • Энергопотребление 70 Вт на лампу
  • Диаметр поворотного столика (тефлон) 200 мм
  • Автоматизированная система управления на дисплее
  • Максимальное количество сосудов: 8
  • Скорость спуска и подъема: 0.5-450 мм/мин
  • Кол-во программ: 20 шт
  • Система дозирования: два канала с независимым контролем
  • Количество оборотов коллектора: 200 – 5500 об/мин
  • Скорость потока: 0.1 мкл/мин – 3 мл/мин
  • Два барьера для сжатия
  • Материал всех смачиваемых и контактных частей: тефлон высокой чистоты (PTFE)
  • Объем ванны: 425 мл
  • Размер зоны погружения: 105 мм (Д) x 40 мм (Ш) x 60 мм(В)