Установки плазменной обработки (вакуумно-плазменные)

Вакуумно-плазменные установки применяются для: плазменной очистки, реактивного ионного травления, плазменного травления, плазменной активация, гидрофильной обработки, модификации поверхности плазмой. Они созданы для выполнения задач: травление графена, дезинфекция, культивирование клеток на графене, микрофлюидика, плазменная обработка семян (контроль продуктивности), гидрофильность графена и др.

Вид каталога:
  • Режим работы: PE (плазменное травление)
  • Камера: 140 x 200 x 110 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 100 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 100 см3
  • Манометрическое давление: атм ~ 5 x 10-4 Торр
  • Режим работы: PE (плазменное травление)
  • Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 200 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 200 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
  • Режим работы: PE (плазменное травление)
  • Камера: 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 500 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE(реактивное ионное травление) / Двойной режим
  • Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 200 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление)
  • Камера: 140 x 200 x 110 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 100 Вт /
  • Расходомер газовый: Макс. 100 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление
  • Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 200 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 200 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE(реактивное ионное травление)
  • Камера: 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 500 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление) / Двойной режим
  • Камера: 330 x 350 x 340 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор:20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт /13,56 МГц Макс. 300 Вт или 600 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 500 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
  • Режим работы: RIE (реактивное ионное травление)
  • Камера: 9,2 дюйма
  • Генератор: 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 200 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
  • Режим работы: RIE (реактивное ионное травление)
  • Камера: 14,4 дюйма
  • Генератор: 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 200 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр

Атмосферно-плазменные системы

Атмосферная плазма в основном используется для обработки поверхности аргоном, кислородом или азотом.

Вид каталога:
  • Размеры: 52 х 76 х 270 мм (Ш х Г х В)
  • Вес: 375 г
  • Мощность: Низкая, средняя, высокая
  • Материалы: Пластик, металл (изнутри)
  • Газ: Ar (0,5-1,5 бар)
  • Плазма: Диэлектрический барьерный разряд
  • Газ: Ar, O2
  • Генератор: 13,56 МГц / Макс. 300 Вт
  • Контроллер: Автоматическое и ручное управление с помощью 7-дюймового сенсорного ПК
  • Плазма: Диэлектрический барьерный разряд
  • Газ: Ar, O2
  • Генератор: 13,56 МГц / Макс. 300 Вт
  • Контроллер: Автоматическое и ручное управление с помощью 7-дюймового сенсорного ПК