CIONE 4 Двойная вакуумно-плазменная система

  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление)
  • Камера: 140 x 200 x 110 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 100 Вт /
  • Расходомер газовый: Макс. 100 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр

Производитель Femto Science

Описание

Режим работы PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление)
Камера 140 x 200 x 110 мм (Ш х Г х В)
Генератор 20 ~ 100 кГц Макс. 100 Вт /
Расходомер газовый Макс. 100 см3
Манометрическое давление Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Управление Ручное и автоматическое
Габариты 440 x 500 x 560 мм (Ш х Г х В)

Технология вакуумной камеры

В отличие от обычной вакуумной камеры Femtoscience inc. предлагает уникальную камеру, которая поддерживает равномерный поток газа внутри камеры независимо от положения.

Режим плазменного травления

Режим плазменного травления

Одиночный электрод

Режим PE/RIE (реактивное ионное травление)

Режим PE/RIE (реактивное ионное травление)

Двойной электрод

По типу конструкции камеры делятся на горизонтальные и вертикальные в зависимости от направления потока газа.

Запатентованная камера Femtoscience Inc. обеспечивает превосходную однородность процесса (Патент № 10-1701381, 10-1697205, Корея)

Двойная вакуумно-плазменная системаДвойная вакуумно-плазменная системаДвойная вакуумно-плазменная системаДвойная вакуумно-плазменная система

Технические характеристики

Технологическая камера

  • Двойной режим: режим PE (плазменное травление) & RIE (реактивное ионное травление) с двойным электродом
  • Размер: 140×200×110 мм (Ш×Г×В)
  • Цельный алюминиевый блок (корпус не сварной, минимальная утечка газа)
  • Равномерный газовый поток (Патент № 10-1697205)

Генератор

  • Частота: 20~100 кГц (с шагом 10 кГц)
  • Мощность: макс. 100 Вт (регулируется с шагом 1 Вт)
  • Автоматическое согласование импеданса
  • Мониторинг и контроль процесса

Модуль расхода газа

  • Максимальное количество газовых каналов: ×3 линии
  • Контроль расхода газа: регулятор расхода газа с высокой воспроизводимостью
  • Линия продувки: ×1 шт.
  • Вентиляционная линия: ×1 шт.
  • Скорость потока РРГ: макс. 100 см3/мин (с шагом 1 см3/мин)

Вакуумная система

  • Вакуумметр: Пирани (5×10-4 мм рт.ст.)
  • Насос: масляный роторный насос
  • Рабочий объем насоса: 200 л/мин при 60 Гц
  • Предельное давление: 5×10-3 Торр

Контроллер

  • Встроенный контроллер сигналов с цифровой обработкой
  • Автоматическое/ручное управление
  • Интерактивное интегрированное программное обеспечение
  • ПК с 7-дюймовым сенсорным экраном и передача данных через USB
  • Сохранение и загрузка технологических методик
  • Графики процесса и загрузка журнала регистрации аварийных сигналов

Размеры системы

  • Основная система: 440 × 500 × 560 мм (Ш×Г×В)
  • Вакуумный насос: 480 × 160 × 250 (Ш×Г×В)

Области применения