COGRADE Вакуумно-плазменная система — настольная
- Режим работы: PE (плазменное травление)
- Камера: 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 500 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Производитель Femto Science
Описание
| Режим работы | PE (плазменное травление) |
| Камера | 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В) |
| Генератор | 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт |
| Расходомер газовый | Макс. 500 см3 |
| Манометрическое давление | Атм ~ 5 x 10-4 Торр |
| Управление | Ручное и автоматическое |
| Габариты | 600 x 615 x 680 мм (Ш х Г х В) |
Технология вакуумной камеры
В отличие от обычной вакуумной камеры Femtoscience inc. предлагает уникальную камеру, которая поддерживает равномерный поток газа внутри камеры независимо от положения.
Режим плазменного травления
Одиночный электрод
Режим PE/RIE (реактивное ионное травление)
Двойной электрод
По типу конструкции камеры делятся на горизонтальные и вертикальные в зависимости от направления потока газа.
Запатентованная камера Femtoscience Inc. обеспечивает превосходную однородность процесса (Патент № 10-1701381, 10-1697205, Корея)
Технические характеристики
Технологическая камера
- Плазменный режим: режим PE (плазменное травление) с одним электродом
- Размер: 250×300×200 мм (Ш×Г×В)
- Цельный алюминиевый блок (корпус не сварной, минимальная утечка газа)
- Равномерный газовый поток (Патент № 10-1697205)
Генератор
- Частота: 20~100 кГц (с шагом 10 кГц)
- Мощность: макс. 300 Вт (регулируется с шагом 1 Вт)
- (Опционально) Высокая частота (13,56 МГц) с макс. 300 Вт
- Автоматическое согласование импеданса
- Мониторинг и контроль процесса
Модуль расхода газа
- Максимальное количество газовых каналов: ×4 линии
- Контроль расхода газа: регулятор расхода газа с высокой воспроизводимостью
- Линия продувки: ×1 шт.
- Вентиляционная линия: ×1 шт.
- Скорость потока РРГ: макс. 500 см3/мин (с шагом 1 см3/мин)
Вакуумная система
- Вакуумметр: Пирани (5×10-4 мм рт.ст.)
- Насос: масляный роторный насос
- Рабочий объем насоса: 290 л/мин при 60 Гц
- Предельное давление: 5×10-3 Торр
Контроллер
- Встроенный контроллер сигналов с цифровой обработкой
- Автоматическое/ручное управление
- Интерактивное интегрированное программное обеспечение
- ПК с 7-дюймовым сенсорным экраном и передача данных через USB
- Сохранение и загрузка технологических методик
- Графики процесса и загрузка журнала регистрации аварийных сигналов
Размеры системы
- Основная система: 600 × 615 × 680 мм (Ш×Г×В)
- Вакуумный насос: 480 × 160 × 250 (Ш×Г×В)
Внутреннее устройство камеры
Образец загружается на электрически заземленную поверхность (соединенную со стенкой камеры).
