COGRADE Вакуумно-плазменная система — настольная

  • Режим работы: PE (плазменное травление)
  • Камера: 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 500 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр

Производитель Femto Science

Описание

Режим работы PE (плазменное травление)
Камера 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В)
Генератор 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт /
13,56 МГц Макс. 300 Вт
Расходомер газовый Макс. 500 см3
Манометрическое давление Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Управление Ручное и автоматическое
Габариты 600 x 615 x 680 мм (Ш х Г х В)

Технология вакуумной камеры

В отличие от обычной вакуумной камеры Femtoscience inc. предлагает уникальную камеру, которая поддерживает равномерный поток газа внутри камеры независимо от положения.

Режим плазменного травления

Режим плазменного травления

Одиночный электрод

Режим PE/RIE (реактивное ионное травление)

Режим PE/RIE (реактивное ионное травление)

Двойной электрод

По типу конструкции камеры делятся на горизонтальные и вертикальные в зависимости от направления потока газа.

Запатентованная камера Femtoscience Inc. обеспечивает превосходную однородность процесса (Патент № 10-1701381, 10-1697205, Корея)

Технические характеристики

Технологическая камера

  • Плазменный режим: режим PE (плазменное травление) с одним электродом
  • Размер: 250×300×200 мм (Ш×Г×В)
  • Цельный алюминиевый блок (корпус не сварной, минимальная утечка газа)
  • Равномерный газовый поток (Патент № 10-1697205)

Генератор

  • Частота: 20~100 кГц (с шагом 10 кГц)
  • Мощность: макс. 300 Вт (регулируется с шагом 1 Вт)
  • (Опционально) Высокая частота (13,56 МГц) с макс. 300 Вт
  • Автоматическое согласование импеданса
  • Мониторинг и контроль процесса

Модуль расхода газа

  • Максимальное количество газовых каналов: ×4 линии
  • Контроль расхода газа: регулятор расхода газа с высокой воспроизводимостью
  • Линия продувки: ×1 шт.
  • Вентиляционная линия: ×1 шт.
  • Скорость потока РРГ: макс. 500 см3/мин (с шагом 1 см3/мин)

Вакуумная система

  • Вакуумметр: Пирани (5×10-4 мм рт.ст.)
  • Насос: масляный роторный насос
  • Рабочий объем насоса: 290 л/мин при 60 Гц
  • Предельное давление: 5×10-3 Торр

Контроллер

  • Встроенный контроллер сигналов с цифровой обработкой
  • Автоматическое/ручное управление
  • Интерактивное интегрированное программное обеспечение
  • ПК с 7-дюймовым сенсорным экраном и передача данных через USB
  • Сохранение и загрузка технологических методик
  • Графики процесса и загрузка журнала регистрации аварийных сигналов

Размеры системы

  • Основная система: 600 × 615 × 680 мм (Ш×Г×В)
  • Вакуумный насос: 480 × 160 × 250 (Ш×Г×В)

Внутреннее устройство камеры

Внутреннее устройство камеры

Образец загружается на электрически заземленную поверхность (соединенную со стенкой камеры).

Области применения