Автономный атомно-силовой микроскоп революционного класса для наномасштабных исследований Park FX40

  • Функция устранения перекрестных помех
  • Лучшая в отрасли скорость и линейность Z-сервопривода
  • Плоское ортогональное сканирование по XY без изгиба сканера
  • Автоматическое считывание кантилеверов
  • Автоматическая смена кантилеверов
  • Автоматическая настройка лазера
  • Бесконтактный режим анализа True Non-Contact

Производитель Park Systems

Особенности

  • Первая система с двумя камерами, когда-либо адаптированная под исследовательский АСМ
  • Автоматизированное машинное обучение с обновляемыми данными

Атомно-силовой микроскоп Park FX40 объединяет искусственный интеллект с робототехникой, позволяя автоматизировать процессы и отличается машинным обучением под Ваши потребности в наномасштабной микроскопии. Дополнительные камеры автоматически синхронизируются с лазерным пучком и фотодетекторами. Системы раннего предупреждения и отказоустойчивые системы, в дополнение к извлечению и хранению информации на каждом этапе сканирования, позволяют выйти за пределы человеческих возможностей – и все это без специальной подготовки в области АСМ микроскопии.

Автоматическое считывание кантилеверов
Камера для идентификации зонда считывает QR-код, отпечатанный на держателе чипа  загруженного кантилевера, и извлекает и отображает всю необходимую информацию о каждом из доступных зондов, включая тип, модель, применение и задачу. Это позволяет Вам выбрать лучший кантилевер для каждого режима исследования.

Автоматическая смена кантилеверов
Благодаря автоматической замене сканирующих зондов пользователи теперь могут легко и безопасно заменять старые зонды в условиях полной автоматизации. Используя удобство кассеты на 8 кантилеверов и механизм с магнитным управлением, зонды можно устанавливать без вмешательства пользователя.

Автоматическая настройка лазера
Автоматический режим юстировки позиционирует пучок SLD диода на правильном месте кантилевера и дополнительно оптимизирует положение PSPD-фотодиода как по вертикали, так и по горизонтали. Одним простым щелчком мыши можно сдвинуть оси X, Y и Z для получения более четких изображений без искажений.

Простая навигация по образцам
С помощью недавно добавленной камеры для отбора образцов пользователь может автоматически сопоставлять зонды с образцами. Камера для образцов легко находит наиболее подходящее место для сканирования. Пользовательский интерфейс SmartScan™ обеспечивает легкую интуитивную навигацию по образцу, позволяя управлять моторизованными столиками в окне навигации.

Датчики окружающей среды для самодиагностики
SmartScan отображает и сохраняет данные с датчиков, которые измеряют важные условия окружающей среды, такие как температура, влажность, уровень и вибрация. Это позволяет сравнивать отсканированные изображения с различными каналами окружающей среды, предоставляя дополнительные индикаторы окружающей среды для диагностики системы.

Автоматическая настройка для визуализации
Одним нажатием кнопки Park FX40 автоматически заменяет свои рабочие кантилеверы, чтобы избежать повреждений или ошибок, связанных с пользователем. Операторам предлагается выбор сканирующих зондов по типу, модели, применению или задаче.

АСМ технология

Наиболее точная система сканирования за счет устранения перекрестных помех

Функция устранения перекрестных помех компании Park Systems удаляет изгиб сканера, обеспечивая плоское ортогональное сканирование по XY независимо от места сканирования, скорости сканирования и размера области сканирования. Система не показывает кривизну фона даже на самых плоских образцах, таких как оптическая плоскость, и с различными смещениями сканирования. Это обеспечивает очень точное измерение высоты и прецизионную нанометрологию для решения самых сложных задач в области исследований и инженерии.

  • Лучшая в отрасли скорость и линейность Z-сервопривода
  • Плоское ортогональное сканирование по XY без изгиба сканера

технология асм

Бесконтактный режим анализа True Non-Contact

Самый быстрый, самый точный, реальный бесконтактный режим анализа для АСМ

Бесконтактный режим анализа True Non-Contact ™ – это режим сканирования, уникальный для АСМ компании Park Systems, который обеспечивает высокое разрешение и точные данные. Он обеспечивает беспрецедентный контроль над расстоянием между зондом и образцом в субнанометровом масштабе. Park FX40 имеет более быстрый и точный режим True Non-Contact, чем любой другой АСМ на рынке.

  • Меньший износ зонда Продолжительное сканирование с высоким разрешением
  • Неразрушающее взаимодействие «зонд-образец» минимальная модификация образца
  • Невосприимчивость к результатам, зависящим от параметров

бесконтактный режим анализа для асм

В отличие от контактного режима, когда кантилевер постоянно контактирует с образцом во время сканирования, или в полуконтактном режиме, когда кантилевер периодически касается образца, зонд, используемый в бесконтактном режиме, не касается образца. В связи с этим использование бесконтактного режима имеет несколько ключевых преимуществ. Теперь возможно сканирование с максимальным разрешением на всей области визуализации, так как острота кантилевера сохраняется. Бесконтактный режим позволяет избежать повреждения мягких образцов, поскольку зонд и поверхность образца избегают прямого контакта.

Кантилевер колеблется над поверхностью

№ измерения 1-ый скан 5000-ый 10000-ый 15000-ый Общее среднее 1σ (%)
Rq (нм) 0.669 0.674 0.665 0.642 0.662 0.011 (1.720%)
Ra (нм) 0.527 0.535 0.525 0.508 0.524 0.010 (1.835%)

Кроме того, в бесконтактном режиме обнаруживается взаимодействие зонда с образцом, происходящее по всему периметру кантилевера. Обнаруживаются силы, возникающие в боковом направлении при приближении зонда к образцу. Следовательно, кантилеверы, используемые в бесконтактном режиме, могут избежать столкновения с высокими структурами, которые могут внезапно появиться на поверхности образца. Контактный и полуконтактный режимы обнаруживают только силу, исходящую из-под кантилевера, и уязвимы для таких столкновений.

Управляющее программное обеспечение SmartScan

управляющее программное обеспечение

Простота измерения от начала настройки до сканирования всего с тремя кликами мыши

простота измерения Настройка
Выполняются все ваши настройки, такие как автоматическая смена зонда, юстировка лазера для визуализации с анимированными инструкциями по настройке, понятными для всех.

Положение
Ваш новый АСМ автоматически выполняет частотную развертку для кантилевера, приближает Z-сканер к образцу и с недавно добавленной камерой для образцов дает вам больше свободы в навигации по интересующей области для получения изображений.

Измерение
Система устанавливает все необходимые параметры для оптимального измерения, затем подводит кантилевер и начинает сканирование образца. АСМ продолжает сканирование, пока изображение не будет получено, а затем процедура завершается.

Улучшенные режимы и дополнительные функции

Улучшенные режимы с широкими возможностями в стандартной комплектации и дополнительные функции
Многие улучшенные режимы входят в стандартную комплектацию АСМ FX40. KPFM с боковой полосой и высокоскоростная силовая спектроскопия включены в базовую платформу системы с новейшим высокопроизводительным контроллером электроники. Последние расширенные режимы, такие как гетеродинный KPFM и отслеживание двухчастотного резонанса (DFRT) PFM, доступны как опции.

Атомно-силовая микроскопия коррелирует функциональные свойства графена на наноуровне

Трехмерное наложение топографии графена, на котором видны складки и лежащие в основании сапфировые ступеньки, как показано, с поверхностным потенциалом, отображаемым с помощью KPFM с боковой полосой.

cиловая микроскопия с зондом Кельвина

Силовая микроскопия с зондом Кельвина

сила адгезии и деформация для графена

Сила адгезии и деформация, полученные для графена на сапфировой подложке с помощью наномеханической визуализации PinPoint компании Park Systems, и соответствующий поверхностный потенциал, отображаемый с помощью KPFM с боковой полосой в той же области измерения. Белая рамка выделяет ту же сапфировую террасу с более высокой силой адгезии, деформацией и поверхностным потенциалом, чем окружающие сапфировые ступеньки.

топография и поверхностный потенциал полученные с помощью KPFM

Топография и поверхностный потенциал, полученные с помощью KPFM с боковой полосой для графена, выращенном методом CVD, на сапфировой подложке. Профили топографии (зеленый цвет) и поверхностного потенциала (красный цвет) вдоль соответствующих линий сечения показывают корреляцию двух сигналов с отчетливым контрастом потенциала между нижележащими сапфировыми ступеньками и террасами, а также складками графена.

Функция работы выхода F14H20 на кремнии

силовая микроскопия с зондом Кельвина

Та же самая цветовая шкала изображения использовалась для сравнения изображений работы выхода. KPFM с боковой полосой показывает лучшее качество изображения и количественные результаты по сравнению с KPFM с амплитудной модуляцией.

Параметры сканирования:

  • Режим сканирования: Силовая микроскопия с зондом Кельвина
  • Кантилевер: PPP-EFM (k = 2.8 Н/м, f = 75 кГц)

Точечная литография на пьезоактуаторе; потенциал

точечная литография на пьезоактуаторе

Поверхностный потенциал измеряли после «точечной литографии» на тонкой пленке PZT (пьезоактуатор). Прикладываемое напряжение смещения к кантилеверу для активации домена составляло ±3 В, ±5 В, ±7 В и ±9 В. KPFM с боковой полосой хорошо различает поляризованные домены на поверхности PZT, тогда как KPFM с амплитудной модуляцией показывает слабый сигнал поверхностного потенциала.

Видео-обзор атомно-силового микроскопа Park FX40

Технические характеристики

XY-сканер Z-сканер
Структура Уровень шума детектора положения Структура Уровень шума по высоте
- Одномодульный двухмерный гибкий сканер с параллельной кинематикой
- Лучшая симметрия, чем у серийно-кинематического гибкого сканера
- < 0.4 нм (СКО в полосе шириной 1 кГц)
- Разрешение: 0.1 нм
- Высокосильный гибкий сканер - < 0.03 нм (СКО в полосе шириной 0.5 кГц)
- Разрешение: 0.015 нм
Диапазон сканирования Диапазон сканирования
100 × 100 мкм 15 мкм
Крепление образца Предметные столики
Размеры образца Крепление Диапазон перемещения по XY Диапазон перемещения по Z
20 × 20 × 20 мм  - магнитный держатель (макс. 4 шт.)
- вставляющийся в столик диск для образца
105 × 40 мм (моторизир.) 22 мм (моторизир.)
Оптика для наблюдения за образцом
Оптический путь Объектив ПЗС-камера Поле зрения
вид на образец сверху, совмещенный по оси  - 10X (NA = 0.21)
- Разрешение: 1 мкм
разрешение: 5.1 Мп
размер пикселя: 3.45 × 3.45 мкм
840 × 630 мкм с объективом 10X
Контроллер АСМ Габаритные размеры Аксессуары
Синхр. усилитель Тело микроскопа Замена зонда Крепление зонда
Интегрированный, 4-канальный,
16 Гц – 5 МГц
450 (Ш) × 350 (Г) × 300 (В) мм. Макс. размеры АСМ для использования внутри акустического ограждения Менее 1 мин в автоматическом режиме (без необходимости снятия головки АСМ) В пренастроенное положение для держателя чипа
Режимы и опции
Топография Магнитные свойства Механические свойства
 - Бесконтактный режим
- Контактный режим
- Полуконтактный режим
 - Магнитная силовая микроскопия (MFM) - PinPoint
- Силовая модулирующая микроскопия (FMM)
- Наноиндентирование
- Нанолитография
- Нанолитография с высоким напряжением *
- Наноманипулирование
- Латеральная силовая микроскопия (LFM)
- Дистанционно-силовая микроскопия (F/d)
- Силовая объемная визуализация
Электрические свойства Диэлектрические / пьезоэлектрические свойства Температурные свойства
- Проводящая АСМ (C-AFM)
- ВАХ спектроскопия (I/V)
- Силовая микроскопия с зондом Кельвина (KPFM)
- KPFM с высоким напряжением
- Сканирующая емкостная микроскопия (SCM) *
- Сканирующая микроскопия сопротивления растеканию (SSRM)
- Картирование фототоком *
- Электростатическая силовая микроскопия (EFM)
 - Силовая микроскопия пьезоотклика (PFM)
- PFM с высоким напряжением *
- Спектроскопия пьезоотклика
 - Сканирующая температурная микроскопия (SThM)*

*скоро будет доступно