Лазерный конфокальный микроскоп NS-3600
- Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением
- Получение конфокального изображения в реальном времени
- Одновременная конфокальная микроскопия и микроскопия белого света
- Автоматический поиск усиления для тонкой фокусировки
- Различное оптическое увеличение для наблюдаемой области
Производитель NANOSCOPE Systems, Inc
Описание
NS-3600 представляет собой конфокальный лазерный сканирующий микроскоп (CLSM) для проведения высокоточных и надежных трехмерных измерений топографии поверхности, специально разработанный для лабораторного использования. Он обеспечивает трехмерное сканирование исследуемых объектов за счет получения серии изображений оптического сечения с использованием очень простого алгоритма, с помощью которого изображение поперечного сечения напрямую преобразуется в данные трехмерного профиля. Это уникальное необработанное изображение поперечного сечения, которое можно интуитивно интерпретировать, делает данные профиля поверхности определенно превосходящими данные, полученные с помощью других оптических технологий.
Отличительные особенности
- Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением
- Получение конфокального изображения в реальном времени
- Различное оптическое увеличение для наблюдаемой области
- Одновременная конфокальная микроскопия и микроскопия белого света
- Автоматический поиск усиления для тонкой фокусировки
- Компенсация наклона
- Простота анализа полученных данных
- Высокоточное и высокоскоростное измерение высоты
- Возможность качественного анализа толщины полупрозрачных материалов
- Отсутствие пробоподготовки
- Сшивание изображений для анализа больших областей
Области применения
Конфокальный лазерный сканирующий микроскоп NS-3600 является многообещающим решением для измерения высоты, ширины, углов, площади, а также объемной визуализации микроструктур, таких как:
- Полупроводники – IC подложки, высота выступов/ступеней и проволочных петлей, анализ дефектов, CPM процессы (химико-механическая планаризация)
- Плоскопанельные дисплеи (FPD) – анализ сенсорных панелей, ITO подложек, высота разделительной колонны в ЖК-дисплее
- МЭМС устройства – трехмерный профиль структуры, шероховатость поверхности, подложки
- Стеклянные поверхности – тонкопленочные солнечные элементы, текстура солнечного элемента, анализ рисунка после лазерного воздействия
- Исследование материалов – анализ опорных поверхностей зажимного устройства, шероховатости и сколов
Примеры измерений с помощью NS-3600
Поперечный профиль вдоль одной линии сечения
Усредненное изображения профиля вдоль канавки
Анализ шероховатости интересующей области
Высокоточное 2D-изображение поверхности с объективом 50Х
Характеристики
| Модель | NS-3600 | ||||
| Увеличение рабочего объектива | 10Х | 20Х | 50Х | 100Х | |
| Поле зрения объектива | По горизонтали (мкм) | 1400 | 700 | 280 | 140 |
| По вертикали (мкм) | 1050 | 525 | 210 | 105 | |
| Рабочее расстояние (мм) | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | |
| Числовая апертура (NA) | 0.30 | 0.45 | 0.8 | 0.9 | |
| Оптическая система для измерения | Конфокальный пинхол | ||||
| Измерение высоты | Диапазон измерения по высоте | 10 мм | |||
| Пространственное разрешение | 0.001 мкм | ||||
| Воспроизводимость (σ) 1) | 0.02 мкм | ||||
| Измерение ширины | Пространственное разрешение | 0.001 мкм | |||
| Воспроизводимость (3σ) 2) | 0.03 мкм | ||||
| Получение кадров данных | Разрешающая способность | 1024×1024, 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96 пикс. | |||
| Конфокальное изображение | 12 бит | ||||
| Цветное изображение | 8 бит для каждого RGB элемента | ||||
| Измерение высоты | 16 бит | ||||
| Скорость сканирования | Сканирование поверхности | 20 – 160 Гц | |||
| Линейное сканирование | ≈8 кГц | ||||
| Лазерный источник для конфокальных измерений | Длина волны | 638 нм | |||
| Выходная мощность | ≈ 2 мВт | ||||
| Класс лазера | Класс 3b | ||||
| Детектор лазерного излучения | ФЭУ | ||||
| Источник света для оптического наблюдения | LED | ||||
| Камера для оптического наблюдения | Тип | Цветная ПЗС | |||
| Разрешающая способность | 1296 × 966 | ||||
| Блок обработки данных | Специализированный ПК | ||||
| Источник питания | Напряжение питания | 100 – 240 В, перем. ток, 50/60 Гц | |||
| Энергопотребление | Макс. 500 ВА | ||||
| Вес | Микроскоп | ≈ 50 кг (сканирующая головка ≈ 12.5 кг) | |||
| Контроллер | ≈ 8 кг | ||||
| Система виброизоляции | Пневматическая виброизоляция | ||||
1)Стандартный образец с высотой ступени 1 мкм измерен 100 раз с помощью объектива 100Х/NA 0.9
2)Стандартный образец с шагом структуры 5 мкм измерен 100 раз с помощью объектива 100Х/NA 0.9
Габаритные размеры (мм)
