Сканирующие электронные микроскопы серии COMPACT

  • Режим низкого напряжения (от 0.6 кВ) – получение изображений образцов без покрытий
  • Улучшенная компенсация внутренних вибраций, нагрева и электро-магнитных помех
  • Одно из лучших разрешений среди мировых аналогов
  • Высокая совместимость с EDS (угол 25°)
  • Технология компенсации аберраций для получения лучшего разрешения
  • Применим для TSEM, STEM-IN-SEM и т.п.
  • Дополнительное цифровое увеличение 2Х, 4Х, 8Х
  • CE сертификация

Производитель Seron Technologies

Узнайте цену

Особенности

Сканирующие электронные микроскопы (SEM) данной серии представляют собой академическую версию, что делает их очень простыми в использовании. Они имеют компактное типоисполнение, а также оснащены колесиками для более удобного перемещения. В дополнение данные микроскопы имеют CE сертификацию.

  • Режим низкого напряжения (от 0.6 кВ) – получение изображений образцов без покрытий
  • Улучшенная компенсация внутренних вибраций, нагрева и электро-магнитных помех
  • Одно из лучших разрешений среди мировых аналогов
  • Высокая совместимость с EDS (угол 25°)
  • Технология компенсации аберраций для получения лучшего разрешения
  • Применим для TSEM, STEM-IN-SEM и т.п.
  • Дополнительное цифровое увеличение 2Х, 4Х, 8Х
  • CE сертификация

Технические характеристики

Модель AIS 1800C AIS 2000C
Электронная оптическая система
Электронная пушка Вольфрамовый катод
Разрешение 5 нм при 20 кэВ (SE детектор) / 4 нм при 30 кэВ (SE детектор) 3 нм при 20/30 кэВ (SE детектор)
Увеличение 10Х ― 200,000Х (цифровое увеличение 2Х, 4Х, 8Х) 10Х ― 300,000Х (цифровое увеличение 2Х, 4Х, 8Х)
Ускоряющее напряжение 0.6 – 30 кВ
Сдвиг изображения X/Y (250/250 мкм), вращение изображения (360°)
Детектор Детектор вторичных электронов ET типа (Everhart-Thornley) (SE-BSE режим изображения без BSE детектора для анализа непокрытых образцов)
Автоматические функции Автоматическая настройка электронной пушки, автофокусировка, компенсация астигматизма, автоконтраст и яркость, ток эмиссии
Отображение результатов
Цифровое изображение Режим анализа площади (640×480), режим исследования (960×640, 1024×768, 2048×1536), режим фотографии (2048×1536 ≈ 8192×6144)
Анализ изображения
Анализ изображения и измерительное ПО Мультифокусировка, замощение, 3D-вид, улучшение, цветовое преобразование, частотная фильтрация, гистограмма, анализ точек, анализ интересующей области (AOI)
Предметный столик
Перемещение (X/Y/Z) 40/40/40 мм
Наклон/Вращение 0° – 60° / 360° (без ограничений)
Тип 5-осевой ручной столик: стандарт
3-осевой моторизированный столик (X, Y, R), автошаг и замощение, наведение и позиционирование: опция
Система вакуумирования (низковакуумная система – опция)
Вакуумирование Режим высокого вакуума (≈ 10-5 торр)
Управление вакуумом Полная автоматизация с системой безопасности
Система вакуумирования Роторный насос + Турбонасос
Другое
Опции BSE, EDS, TSEM, 3D-реконструкция
Габаритные размеры 540 (Ш) × 570 (Д) × 1300 (В) мм 540 (Ш) × 570 (Д) × 1500 (В) мм
В каталог