Сканирующие электронные микроскопы серии NORMAL

  • Детектор вторичных электронов ET-типа
  • Высокая скорость сканирования и разрешение
  • Большое увеличение, режим низкого напряжения
  • Дополнительное цифровое увеличение 2Х, 4Х, 8Х (AIS2300C)
  • Конический объектив с углом 65° для анализа широких образцов (AIS 2500C)
  • Простое и понятное программное обеспечение
  • CE сертификация

Производитель Seron Technologies

Узнайте цену

Особенности

AIS2100C – данная модель разрабатывалась как основной инструмент для широкого круга задач сканирующей электронной микроскопии в областях науки и промышленности. После 10 лет непрерывной модернизации данная модель переросла во второе (AIS 2300C) и третье (AIS 2500C) поколения более высокой производительности.

AIS2300C – данный SEM представляет собой наиболее популярный растровый микроскоп, отличается высокой конкурентоспособностью в производительности по сравнению со своими аналогами и оснащен специальной оптикой для проведения низковольтных измерений.

AIS2500C – микроскоп оснащен электронной пушкой типа LaB6, что дает Вам возможность получать изображения очень высокого разрешения. Также в его конструкции используется специальный металлический сплав для экранизации с целью минимизации увеличения и повышения долговечности. Конический объектив с углом 65° разработан специально для получения высококачественных изображений широких образцов. В дополнение, модель AIS2500C имеет оптимальную разрешающую способность, что позволяет различать мелкие детали при большом увеличении.

  • Детектор вторичных электронов ET-типа
  • Высокая скорость сканирования и разрешение
  • Большое увеличение, режим низкого напряжения
  • Дополнительное цифровое увеличение 2Х, 4Х, 8Х (AIS2300C)
  • Конический объектив с углом 65° для анализа широких образцов (AIS 2500C)
  • Высокая стабильность и производительность
  • Применим для TSEM, STEM-IN-STEM и т.п.
  • Простое и понятное программное обеспечение
  • Многозадачный графический пользовательский интерфейс
  • Возможность обработки и хранения больших файлов данных
  • Предустановленный драйвер для ультрабыстрого сканирования
  • Компактные размеры
  • CE сертификация

Технические характеристики

Модель AIS 2100C AIS 2300C AIS 2500C
Электронная оптическая система
Электронная пушка   Вольфрамовый филамент (тонкая нить) LaB6 филамент
Разрешение 3 нм при 30 кэВ (SE детектор) / 4 нм (BSE детектор) 3 нм при 30 кэВ (SE детектор) / 4 нм (BSE детектор) 2 нм при 30 кэВ (SE детектор) / 3 нм (BSE детектор)
Увеличение 10Х ― 300,000Х 10Х ― 1,000,000Х 10Х ― 1,000,000Х
Ускоряющее напряжение 0.6 – 30 кВ (миним. 0.2 кВ) 0.6 – 30 кВ (миним. 0.2 кВ) 0.6 – 30 кВ (миним. 0.2 кВ)
Изображение     Изображение вторичными электронами (SEI), изображение обратно-рассеянными электронами (опция), просвечивающая SEM (TSEM) (опция)
Сдвиг изображения   X/Y (250/250 мкм), вращение изображения (360°) X/Y (350/325 мкм), вращение изображения (360°)
Настройка пушки     Автоматическая настройка (с использованием гистограммы)
Детектор Детектор вторичных электронов ET типа (Everhart-Thornley) (SE-BSE режим изображения) Детектор вторичных электронов ET типа (Everhart-Thornley) (SE-BSE режим изображения без BSE детектора для анализа непокрытых образцов) Детектор вторичных электронов ET типа (Everhart-Thornley) (SE-BSE режим изображения без BSE детектора для анализа непокрытых образцов)
Автоматические функции Автоматическая настройка электронной пушки, автофокусировка, компенсация астигматизма, автоконтраст и яркость Автоматическая настройка электронной пушки, автофокусировка, компенсация астигматизма, автоконтраст и яркость, ток эмиссии Автоматическая настройка электронной пушки, автофокусировка, компенсация астигматизма, автоконтраст и яркость, ток эмиссии, замощение, автофотографирование
Оптическая система Двойная конденсорная линза + объектив Электромагнитная линзовая система  
Конденсор     Электромагнитный двухуровневый
Объектив     Конический объектив с углом 65° (одноуровневый)
Система управления     Многозадачный графический пользовательский интерфейс, функция настройки удаленного управления
Отображение результатов
Цифровое изображение Макс. 8192×6144 пикселей Режим анализа площади (640×480), режим исследования (960×640, 1024×768, 2048×1536), режим фотографии (2048×1536 ≈ 8192×6144) Режим анализа площади (640×480), режим исследования (960×640, 1024×768, 2048×1536), режим фотографии (2048×1536 ≈ 8192×6144)
Скорость сканирования Макс. 20 кадров/с при 1024×768    
Рабочее расстояние Макс. 60 мм   Электромагнитный двухуровневый
Анализ изображения
Анализ изображения и измерительное ПО Мультифокусировка, замощение, 3D-вид, улучшение, цветовое преобразование, частотная фильтрация, гистограмма, анализ точек (одна/несколько/группа), анализ интересующей области (AOI), измерение в точке, вывод данных в Excel
Предметный столик
Перемещение (X/Y/Z) 60/70/50 мм 60/70/65 мм (Увеличенный предметный столик и камера – опция)
Наклон/Вращение -20° – 60° (макс. 90°) / 360° (без ограничений)
Тип 5-осевой ручной столик (X, Y, Z, R, T) 3-осевой моторизированный столик (X, Y, R), автошаг и замощение, наведение и позиционирование: стандарт
Дополнительная моторизация – наклон (T), вертикальное перемещение (Z): опция
Система вакуумирования
Вакуумирование   Режим высокого вакуума (≈ 10-5 торр) / Режим низкого вакуума: опция Режим высокого вакуума (≈ 10-7 торр) / Режим низкого вакуума: опция
Управление вакуумом   Полная автоматизация с системой безопасности
Система вакуумирования   Роторный насос + Турбонасос Роторный насос + Турбонасос/Ионный насос
Другое
Опции EDX, WDX, EBSD, BSE, режим низкого вакуума BSE, EDS, TSEM, 3D-реконструкция, ПЗС-камера BSE, EDS, WDS, EBSD, TSEM
Габаритные размеры 260 (Ш) × 242 (Д) × 302 (В) мм    
В каталог