Полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп (FE-SEM) SEMIRON 5000

  • Конический объектив на 65°
  • Высокое разрешение изображения (8192 × 6144 пикселей)
  • Обновляемый драйвер для высокой скорости сканирования
  • Многозадачный графический пользовательский интерфейс
  • Автоматический шаг и замощение для файлов данных больших размеров
  • Различные фильтры для снижения шумов
  • Мощный пакет измерительного ПО
  • Пакет обработки и анализа изображений
  • CE сертификация

Производитель Seron Technologies

Особенности

SEMIRON 5000 – это сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения с полевой эмиссией Шоттки, оснащенный коническим объективом на 65°, который оптимизирован для анализа больших образцов на коротком рабочем расстоянии, а также имеет возможность подключения различных детекторов типа EDS (энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия), EBSD (дифракция отраженных электронов), WDS (дисперсионная рентгеновская спектроскопия по длине волны) и др.

  • Конический объектив на 65°
  • Высокое разрешение изображения (8192 × 6144 пикселей)
  • Обновляемый драйвер для высокой скорости сканирования
  • Многозадачный графический пользовательский интерфейс
  • Автоматический шаг и замощение для файлов данных больших размеров
  • Различные фильтры для снижения шумов
  • Мощный пакет измерительного ПО
  • Пакет обработки и анализа изображений
  • CE сертификация

Технические характеристики

Модель SEMIRON 5000
Электронная оптическая система
Электронная пушка Автоэмиссионный тип Шоттки
Разрешение 1 нм при 30 кэВ (SE детектор) / 2 нм (BSE детектор)
Увеличение 10Х ― 1,000,000Х
Изображение Изображение вторичными электронами (SEI), изображение обратно-рассеянными электронами, просвечивающая SEM (TSEM) (опция)
Режим сканирования лучом Поиск, Исследование, Фото
Ускоряющее напряжение ≈ 30 кВ (непрерывное изменение)
Система смещения Завязана на управлении переменным и постоянным напряжением
Настройка пушки Автоматическая настройка (с использованием гистограммы)
Линзовая система Электромагнитная линза, электростатическая линза, конический объектив 60°
Сдвиг изображения X/Y (330/325 мкм), вращение изображения (360°)
Детектор Детектор вторичных электронов ET типа (Everhart-Thornley) (SE-BSE режим изображения без BSE детектора для анализа непокрытых образцов) и ПЗС
Автоматические функции Автофокусировка, компенсация астигматизма, автоконтраст и яркость, ток эмиссии, автошаг и замощение, автоматическое фотографирование
Система управления Многозадачный графический пользовательский интерфейс, настройка удаленного управления
Отображение результатов
Цифровое изображение Режим анализа площади (640×480), режим исследования (960×640, 1024×768, 2048×1536), режим фотографии (2048×1536 ≈ 8192×6144)
Анализ изображения
Анализ изображения Мультифокусировка, замощение, 3D-вид, улучшение, цветовое преобразование, частотная фильтрация и пользовательская фильтрация шумов, анализ вкраплений, анализ материала
Измерительно ПО Анализ интересующей области (AOI), измерительные инструменты, изменение формата данных (Excel)
Предметный столик
Типоисполнение Оснащен точным микрошаговым двигателем
Перемещение (X/Y/Z) 50/70/65 мм (большой столик, камера – опция)
Наклон/Вращение ≈ 60° (макс. 90°) / 360° (без ограничений)
Тип 5-осевой моторизированный столик, автошаг и замощение, наведение и позиционирование
Система вакуумирования
Вакуумирование Режим высокого вакуума (≤ 2 × 10-9 мбар)
Управление вакуумом Полная автоматизация с системой безопасности
Система вакуумирования Роторный насос + Турбонасос/Ионный насос, включая датчики вакуума
Другое
Опции BSE, EDS, WDS, EBSD, TSEM, загрузочная камера