Полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп (FE-SEM) SEMIRON 5000
- Конический объектив на 65°
- Высокое разрешение изображения (8192 × 6144 пикселей)
- Обновляемый драйвер для высокой скорости сканирования
- Многозадачный графический пользовательский интерфейс
- Автоматический шаг и замощение для файлов данных больших размеров
- Различные фильтры для снижения шумов
- Мощный пакет измерительного ПО
- Пакет обработки и анализа изображений
- CE сертификация
Производитель Seron Technologies
Описание
Характеристики
Материалы
Особенности
SEMIRON 5000 – это сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения с полевой эмиссией Шоттки, оснащенный коническим объективом на 65°, который оптимизирован для анализа больших образцов на коротком рабочем расстоянии, а также имеет возможность подключения различных детекторов типа EDS (энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия), EBSD (дифракция отраженных электронов), WDS (дисперсионная рентгеновская спектроскопия по длине волны) и др.
- Конический объектив на 65°
- Высокое разрешение изображения (8192 × 6144 пикселей)
- Обновляемый драйвер для высокой скорости сканирования
- Многозадачный графический пользовательский интерфейс
- Автоматический шаг и замощение для файлов данных больших размеров
- Различные фильтры для снижения шумов
- Мощный пакет измерительного ПО
- Пакет обработки и анализа изображений
- CE сертификация
Технические характеристики
| Модель | SEMIRON 5000 |
| Электронная оптическая система | |
| Электронная пушка | Автоэмиссионный тип Шоттки |
| Разрешение | 1 нм при 30 кэВ (SE детектор) / 2 нм (BSE детектор) |
| Увеличение | 10Х ― 1,000,000Х |
| Изображение | Изображение вторичными электронами (SEI), изображение обратно-рассеянными электронами, просвечивающая SEM (TSEM) (опция) |
| Режим сканирования лучом | Поиск, Исследование, Фото |
| Ускоряющее напряжение | ≈ 30 кВ (непрерывное изменение) |
| Система смещения | Завязана на управлении переменным и постоянным напряжением |
| Настройка пушки | Автоматическая настройка (с использованием гистограммы) |
| Линзовая система | Электромагнитная линза, электростатическая линза, конический объектив 60° |
| Сдвиг изображения | X/Y (330/325 мкм), вращение изображения (360°) |
| Детектор | Детектор вторичных электронов ET типа (Everhart-Thornley) (SE-BSE режим изображения без BSE детектора для анализа непокрытых образцов) и ПЗС |
| Автоматические функции | Автофокусировка, компенсация астигматизма, автоконтраст и яркость, ток эмиссии, автошаг и замощение, автоматическое фотографирование |
| Система управления | Многозадачный графический пользовательский интерфейс, настройка удаленного управления |
| Отображение результатов | |
| Цифровое изображение | Режим анализа площади (640×480), режим исследования (960×640, 1024×768, 2048×1536), режим фотографии (2048×1536 ≈ 8192×6144) |
| Анализ изображения | |
| Анализ изображения | Мультифокусировка, замощение, 3D-вид, улучшение, цветовое преобразование, частотная фильтрация и пользовательская фильтрация шумов, анализ вкраплений, анализ материала |
| Измерительно ПО | Анализ интересующей области (AOI), измерительные инструменты, изменение формата данных (Excel) |
| Предметный столик | |
| Типоисполнение | Оснащен точным микрошаговым двигателем |
| Перемещение (X/Y/Z) | 50/70/65 мм (большой столик, камера – опция) |
| Наклон/Вращение | ≈ 60° (макс. 90°) / 360° (без ограничений) |
| Тип | 5-осевой моторизированный столик, автошаг и замощение, наведение и позиционирование |
| Система вакуумирования | |
| Вакуумирование | Режим высокого вакуума (≤ 2 × 10-9 мбар) |
| Управление вакуумом | Полная автоматизация с системой безопасности |
| Система вакуумирования | Роторный насос + Турбонасос/Ионный насос, включая датчики вакуума |
| Другое | |
| Опции | BSE, EDS, WDS, EBSD, TSEM, загрузочная камера |