
Сканирующие интерферометры белого света (оптические профилометры) серии SURFIEW GLtech
- Разрешение по высоте 0.1 нм
- Вертикальное разрешение: VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм
- Неразрушающий контроль и отсутствие пробоподготовки
- Возможность измерения различных типов образцов: прозрачные, полупрозрачные, непрозрачные и т.п.
Производитель GLtech
Описание
Характеристики
Материалы
Основные параметры
- Разрешение по высоте:
0.1 нм - Вертикальное разрешение:
VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм - Неразрушающий контроль и отсутствие пробоподготовки
- Возможность измерения различных типов образцов: прозрачные, полупрозрачные, непрозрачные и т.п.
Описание
Бесконтактные трехмерные профилометры компании GLtech, работающие на основе интерферометрии белого света, позволяют легко, быстро и точно измеряет высоту и форму поверхности от 1 нм до 10 мм с разрешением по высоте 0.1 нм. По сравнению с контактным методом, образец не повреждается, а разрешение по высоте одинаково независимо от увеличения объектива – поэтому измерения можно проводить более точно, чем конфокальным методом. Кроме того, данный метод более быстрый и имеет более широкий диапазон перемещения по сравнению с АСМ.
Отличительные особенности
- Разрешение по высоте 0.1 нм
- Разрешение системы не зависит от используемого объектива
- Объективы с различным полем зрения
- Возможность измерения различных типов образцов: прозрачные, полупрозрачные, непрозрачные
- Легкое, быстрое и точное измерение
- Высокая надежность благодаря пьезоэлементу с замкнутым циклом
- Функция отслеживания собственного статуса
- Высокая повторяемость и воспроизводимость измерений
Основные области применения
- Одновременный контроль 2D и 3D формы поверхности
- Высота/глубина структуры, высота ступеньки, анализ линий, окружностей, дуг, углов, измерение ширины и расстояния
- Измерение параметров шероховатости: вдоль линии, для площади
- Анализ дефектов: царапины, сколы, трещины, объем и т.п.
Основные направления
- Полупроводниковая промышленность
- LCD/OLED дисплеи и мониторы
- Подложки для печатных плат
- Микрооптика
- MEMS структуры
- Изделия лазерной микрообработки
- Сопла струйных принтеров и плоттеров
Работа данных сканирующих интерферометров основана на двух принципах:
Технические характеристики
Серия | Surfiew Academy | Surfiew Compact | Surfiew Elite | Surfiew Pro | Surfiew Master | |
Вертикальное разрешение 1) | VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм | |||||
Горизонтальное разрешение | 0.03 – 7.2 мкм (зависит от увеличения и камеры) | |||||
Воспроизводимость измерения высоты | ≤ 0.3% при 1σ | ≤ 0.1% при 1σ | ||||
Скорость сканирования | 8 – 40 мкм/сек | |||||
Метод сканирования | Сканер на основе пьезопривода, закрытый цикл | |||||
Диапазон сканирования | ≤ 100 мкм (пьезо ≤ 250 мкм опция) | ≤ 150 мкм (пьезо ≤ 300 мкм опция) | ≤ 150 мкм (пьезо ≤ 300 мкм или мотор. ≤ 10 мм опция) | ≤ 300 мкм (мотор. ≤ 10 мм опция) | ||
Объектив | Один | До 5 (ручная турель) | До 5 (автоматизированная турель) | До 6 (автом. турель) | ||
Изображающая линза | 1.0X | 1.0X | До 2 (автом. турель) | До 3 (автом. турель) | До 5 (автом. турель) | |
Камера | 1/2”, одноцветная (2/3”, 1” – опция) | |||||
Подсветка | Белый LED | |||||
Фильтр | 2 (ручная смена) | 2 (автом. смена) | 2 (автом. смена) | 3 (автом. смена) | 3 (автом. смена) | |
Автофокусировка | — | — | Автофокус изображения | |||
Программное сшивание | Нет | Нет | Да | Да | Да | |
Отражательная способность образца | 0.05 – 100% | |||||
Максимальный вес образца | ≤ 2 кг | ≤ 5 кг | ≤ 10 кг | ≤ 20 кг | ≤ 20 кг | |
Диапазон перемещения предметного столика | 50 × 50 мм (ручное) | 50 × 50 мм (ручное) | 100 × 100 мм (автом.) | 300 × 300 мм (автом.) | 600 × 600 мм (автом.) | |
Диапазон перемещения сканирующей головки | 20 мм (ручное) | 30 мм (ручное грубое и точное) | 100 мм (автом.) | 100 мм (автом.) | 100 мм (автом.) | |
Наклон столика | ± 2° (ручное) | ± 3° (ручное) | ± 6° (автом.) | ± 6° (автом.) | — | |
Джойстик | — | — | USB-джойстик | Ручной джойстик | Ручной джойстик | |
Размеры предметного столика | 120 × 120 мм | 120 × 120 мм | 230 × 230 мм | 300 × 300 мм | 600 × 600 мм | |
Виброизоляция | Пассивный тип (вертикальный резонанс на 2.5 Гц) | Пассивный тип (вертикальный резонанс на 1.5 Гц) | ||||
Общий вес системы | ≈ 10 кг | ≈ 10 кг | ≈ 45 кг | ≈ 400 кг | ≈ 1500 кг | |
Напряжение питания | 110 В / 220 В (± 10%), 15 А, 50/60 Гц | |||||
Программное обеспечение | Surface View / Surface Map (Windows 10, 64-бита) |
1)VSI – Видимая интерферометрия Сандоз; VEI – Видимая огибающая интерферометрия; VPI – Видимая интерферометрия с фазовым сдвигом
Опции
Интерферометрические объективы | 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х |
Объективы | 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х |
Изображающие линзы | 0.55Х, 0.75Х, 1Х, 1.5Х, 2Х |
Предметный столик | Вращающийся вакуумный столик |
Эталонные образцы | Стандарт высоты Стандарт ширины Стандарт шероховатости |