Оптический профилометр

Сканирующие интерферометры белого света серии SURFIEW GLtech

  • Разрешение по высоте 0.1 нм
  • Вертикальное разрешение: VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм
  • Неразрушающий контроль и отсутствие пробоподготовки
  • Возможность измерения различных типов образцов: прозрачные, полупрозрачные, непрозрачные и т.п.

Производитель GLtech

Основные параметры
  • Разрешение по высоте:
    0.1 нм
  • Вертикальное разрешение:
    VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм
  • Неразрушающий контроль и отсутствие пробоподготовки
  • Возможность измерения различных типов образцов: прозрачные, полупрозрачные, непрозрачные и т.п.

Описание

Бесконтактные трехмерные профилометры компании GLtech, работающие на основе интерферометрии белого света, позволяют легко, быстро и точно измеряет высоту и форму поверхности от 1 нм до 10 мм с разрешением по высоте 0.1 нм. По сравнению с контактным методом, образец не повреждается, а разрешение по высоте одинаково независимо от увеличения объектива – поэтому измерения можно проводить более точно, чем конфокальным методом. Кроме того, данный метод более быстрый и имеет более широкий диапазон перемещения по сравнению с АСМ.

Отличительные особенности

  • Разрешение по высоте 0.1 нм
  • Разрешение системы не зависит от используемого объектива
  • Объективы с различным полем зрения
  • Возможность измерения различных типов образцов: прозрачные, полупрозрачные, непрозрачные
  • Легкое, быстрое и точное измерение
  • Высокая надежность благодаря пьезоэлементу с замкнутым циклом
  • Функция отслеживания собственного статуса
  • Высокая повторяемость и воспроизводимость измерений

Основные области применения

  • Одновременный контроль 2D и 3D формы поверхности
  • Высота/глубина структуры, высота ступеньки, анализ линий, окружностей, дуг, углов, измерение ширины и расстояния
  • Измерение параметров шероховатости: вдоль линии, для площади
  • Анализ дефектов: царапины, сколы, трещины, объем и т.п.

Основные направления

  • Полупроводниковая промышленность
  • LCD/OLED дисплеи и мониторы
  • Подложки для печатных плат
  • Микрооптика
  • MEMS структуры
  • Изделия лазерной микрообработки
  • Сопла струйных принтеров и плоттеров

Работа данных сканирующих интерферометров основана на двух принципах:

Принцип работы интерферометра

Работа данных сканирующих интерферометров основана на двух принципах:

  • VSI/VEI: вертикальная сканирующая интерферометрия белого света
    • VSI – видимая интерферометрия Сандоз
    • VEI – видимая огибающая интерферометрия
  • VPI: сканирующая интерферометрия с фазовым сдвигом

Технические характеристики

Серия Surfiew Academy Surfiew Compact Surfiew Elite Surfiew Pro Surfiew Master
Вертикальное разрешение 1) VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм
Горизонтальное разрешение 0.03 – 7.2 мкм (зависит от увеличения и камеры)
Воспроизводимость измерения высоты ≤ 0.3% при 1σ ≤ 0.1% при 1σ
Скорость сканирования 8 – 40 мкм/сек
Метод сканирования Сканер на основе пьезопривода, закрытый цикл
Диапазон сканирования ≤ 100 мкм (пьезо ≤ 250 мкм опция) ≤ 150 мкм (пьезо ≤ 300 мкм опция) ≤ 150 мкм (пьезо ≤ 300 мкм или мотор. ≤ 10 мм опция) ≤ 300 мкм (мотор. ≤ 10 мм опция)
Объектив Один До 5 (ручная турель) До 5 (автоматизированная турель) До 6 (автом. турель)
Изображающая линза 1.0X 1.0X До 2 (автом. турель) До 3 (автом. турель) До 5 (автом. турель)
Камера 1/2”, одноцветная (2/3”, 1” – опция)
Подсветка Белый LED
Фильтр 2 (ручная смена) 2 (автом. смена) 2 (автом. смена) 3 (автом. смена) 3 (автом. смена)
Автофокусировка Автофокус изображения
Программное сшивание Нет Нет Да Да Да
Отражательная способность образца 0.05 – 100%
Максимальный вес образца ≤ 2 кг ≤ 5 кг ≤ 10 кг ≤ 20 кг ≤ 20 кг
Диапазон перемещения предметного столика 50 × 50 мм (ручное) 50 × 50 мм (ручное) 100 × 100 мм (автом.) 300 × 300 мм (автом.) 600 × 600 мм (автом.)
Диапазон перемещения сканирующей головки 20 мм (ручное) 30 мм (ручное грубое и точное) 100 мм (автом.) 100 мм (автом.) 100 мм (автом.)
Наклон столика ± 2° (ручное) ± 3° (ручное) ± 6° (автом.) ± 6° (автом.)
Джойстик USB-джойстик Ручной джойстик Ручной джойстик
Размеры предметного столика 120 × 120 мм 120 × 120 мм 230 × 230 мм 300 × 300 мм 600 × 600 мм
Виброизоляция Пассивный тип (вертикальный резонанс на 2.5 Гц) Пассивный тип (вертикальный резонанс на 1.5 Гц)
Общий вес системы ≈ 10 кг ≈ 10 кг ≈ 45 кг ≈ 400 кг ≈ 1500 кг
Напряжение питания 110 В / 220 В (± 10%), 15 А, 50/60 Гц
Программное обеспечение Surface View / Surface Map (Windows 10, 64-бита)

1)VSI – Видимая интерферометрия Сандоз; VEI – Видимая огибающая интерферометрия; VPI – Видимая интерферометрия с фазовым сдвигом 

Опции

Интерферометрические объективы 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х
Объективы 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х
Изображающие линзы 0.55Х, 0.75Х, 1Х, 1.5Х, 2Х
Предметный столик Вращающийся вакуумный столик
Эталонные образцы Стандарт высоты
Стандарт ширины
Стандарт шероховатости