Стандартная система тестирования фликкер-шума (шума 1/f) 9812DX

9812DX – это стандартная система измерения фликкер-шума (шум 1/f). 9812DX устанавливает новые рекорды по скорости измерения, разрешению системы и охвату различных типов требований к измерениям для фликкер-шума и случайного телеграфного шума или сигнализации (RTN или RTS). Фликкер-шум является доминирующим шумом для глубоких субмикронных и нанометровых КМОП-устройств, биполярных транзисторов (BJT), полевых транзисторов (FET) и биполярных транзисторов на гетеропереходах (HBT).

9812DX отличается порядком величины в улучшении разрешения измерения по сравнению с устаревшими системами. Он обеспечивает все типы устройств широкими рабочими условиями, включая подачу высокого напряжения до 200 В и экстремально низкий ток до 10 пА. Это также единственная система на рынке, которая охватывает полный диапазон условий измерения для устройств как с высоким, так и с низким импедансом, в диапазоне от 10 Ом до 10 МОм.

Чтобы удовлетворить требованиям сверхбыстрого роста и спроса на системы для тестирования низкочастотного шума в передовых технологических узлах, особенно технологии FinFET, 9812DX обеспечивает значительное и инновационное улучшение в аппаратном и программном проектировании. С типичной скоростью измерения шума 20 сек/смещение, 9812DX устанавливает новый рекорд скорости. 9812DX может использоваться совместно с системой тестирования параметров полупроводников Primarius FS-Pro, предоставляя решение для параллельного тестирования, которое значительно повышает эффективность и пропускную способность тестирования.

9812DX был принят многими заводами и предприятиями и стал новым золотым стандартом для тестирования низкочастотного шума. Он широко используется для разработки самых передовых узлов полупроводниковых технологических процессов, от 14 нм и 10 нм до 7 нм, 5 нм и 3 нм.

• Проверенный золотой стандарт
  • Незаменимый инструмент для многих ведущих заводов и предприятий без собственных производственных мощностей
• Высочайшее разрешение
  • Несколько встроенных LNA обеспечивают широкий диапазон согласования импеданса
• Полный охват типов устройств
  • Все условия анализа, включая высокое напряжение и экстремально низкий ток
• Высочайшая скорость
  • Большая скорость измерения шума и эффективный статистический анализ шума
• Поддержка широкого спектра технологических процессов
  • Проверено во всех технологических узлах, включая 14/10/7/5 нм

• Оценка и мониторинг качества процесса для разработки передовых технологий (FinFET/FD-SOI/ GaN)
• Характеристика шума для извлечения модели SPICE
• Оценка процесса/устройства для передовых схемных разработок

Аппаратная часть

• Широкий диапазон
  • Максимальное входное напряжение и ток на SMU: 200 В, 200 мА
• Высокое разрешение
  • Минимальная точность постоянного тока: 10 пА
  • Разрешение тока шума системы: < 1×10-27 А2/Гц
• Быстрая скорость
  • 20 с/смещение для типичного шума устройства 1/f
• Широкий диапазон импеданса
  • Импеданс тестируемого устройства от 10 Ом до 10 МОм
• Входные/нагрузочные резисторы
  • 16 вариантов затвора/базы, 15 вариантов стока/сбора
  • LNA по напряжению: 0.03–10 МГц, 0.65 нВ/Гц1/2 (при 5 кГц)
  • LNA по току: 0.03–1 МГц, 0.7 пА/Гц1/2 (при 5 кГц)
  • LNA по широкополосному току: 0.03–10 МГц, 5 пА/Гц1/2 (при 5 кГц)
  • LNA по току высокой точности: 0.03–20 кГц, 60 фА/Гц1/2 (при 5 кГц)
  • Встроенные АЦП и DSA, защита тестируемого устройства от электростатического разряда

Программная часть

9812DX имеет встроенное программное обеспечение NoiseProPlus, отличающееся мощной функциональностью для измерения шума 1/f и шума RTN и анализа данных.

• Драйверы для 9812DX/D/B/A и всех популярных измерителей ВАХ-характеристик
• Драйверы для зондовых станций Cascade/SUSS/MPI
• Многорежимное устройство и управление автоматическим измерением смещения
• Одновременная характеристика шума 1/f и RTN
• Статистическая характеристика шума и функции анализа
• Обширные графические и аналитические функции данных