Спектроскопический рефлектометр Elli-RSc

Спектроскопический рефлектометр Elli-RS

  • Cтандарт для измерения толщин тонких пленок и оптических констант (n и k) с очень небольшим размером пятна
  • Производительность: < 0.5 с на точку (зависит от типа пленки)
  • Повторяемость: ±1 Å за 10 измерений

Производитель Ellipso Technology

Особенности

  • Простота работы и быстрое измерение 
  • Безконтактное и неразрушающее измерение 
  • Высокая повторяемость  
  • Управление перемещение X-Y-Z 
  • Пользовательские скрипты измерений

Структура спектроскопического рефлектометра

  • Источник света: Галогеновая лампа мощностью 100 Вт 
  • Система микроскопа: Револьверная голова, адаптер для отражательного зонда
  • Размер светового пятна: 40 мкм, 20 мкм, 10 мкм
  • Спектральный диапазон: 380 ~ 1000 нм
  • Спектрограф: ПЗС детектор
  • Размер платформы: 100 мм х 100 мм 

Применение

  • Полупроводники Si, Ge, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs, Si3N
  • Дисплеи (в т.ч. OLED) MgO, ITO, PR, Alq3 , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO2, ONO 
  • Диэлектрики SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, водные окислы
  • Полимеры красители, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR 
  • Химия органические пленки (OLED) и LB тонкие пленки 
  • Солнечные элементы SiN, a-Si, поли-Si, SiO2, Al2O3 

Опции

  • Система измерения толстых пленок: диапазон толщин 1-300 мкм
  • Размер светового пучка: 4 мкм
  • Размеры предметного столика: 200 мм х 200 мм и 300 мм х 300 мм 
  • Система автофокусировки: цветная ПЗС камера 
  • Антивибрационный столик
  • Трансляционный столик

Технические характеристики

  • Диапазон длин волн: 380 ~ 1000 нм
  • Размер светового пятна: 40 мкм, 20 мкм, 10 мкм
  • Диапазон толщин: 10 нм – 50 мкм (зависит от типа пленки)
  • Число слоев: до 3 (зависит от типа пленки)
  • Производительность: < 0.5 с на точку (зависит от типа пленки)
  • Повторяемость: ±1 Å за 10 измерений