Спектроскопический рефлектометр Elli-RSc

Спектроскопический рефлектометр Elli-RS

  • Cтандарт для измерения толщин тонких пленок и оптических констант (n и k) с очень небольшим размером пятна
  • Производительность: < 0.5 с на точку (зависит от типа пленки)
  • Повторяемость: ±1 Å за 10 измерений

Производитель Ellipso Technology

Особенности

  • Простота работы и быстрое измерение 
  • Безконтактное и неразрушающее измерение 
  • Высокая повторяемость  
  • Управление перемещение X-Y-Z 
  • Пользовательские скрипты измерений

Структура спектроскопического рефлектометра

  • Источник света: Галогеновая лампа мощностью 100 Вт 
  • Система микроскопа: Револьверная голова, адаптер для отражательного зонда
  • Размер светового пятна: 40 мкм, 20 мкм, 10 мкм
  • Спектральный диапазон: 380 ~ 1000 нм
  • Спектрограф: ПЗС детектор
  • Размер платформы: 100 мм х 100 мм 

Применение

  • Полупроводники Si, Ge, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs, Si3N
  • Дисплеи (в т.ч. OLED) MgO, ITO, PR, Alq3 , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO2, ONO 
  • Диэлектрики SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, водные окислы
  • Полимеры красители, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR 
  • Химия органические пленки (OLED) и LB тонкие пленки 
  • Солнечные элементы SiN, a-Si, поли-Si, SiO2, Al2O3 

Опции

  • Система измерения толстых пленок: диапазон толщин 1-300 мкм
  • Размер светового пучка: 4 мкм
  • Размеры предметного столика: 200 мм х 200 мм и 300 мм х 300 мм 
  • Система автофокусировки: цветная ПЗС камера 
  • Антивибрационный столик
  • Трансляционный столик

Сервис анализа образцов

Компания Ellipso Technology предлагает аналитические услуги для анализа Ваших образцов

Компания Ellipso Technology предоставляет своим клиентам решение, включающее такие данные, как толщина, показатель преломления, коэффициент затухания и плотность тонкопленочных материалов, а также, другие возможные свойства, которые могут быть исследованы оптическим методом. Точность технологии и точность анализа Ellipso Technology пользуются доверием множества компаний и исследовательских институтов, а также учебных заведений.

Основываясь на знаниях и опыте, накопленных в ходе более чем 2000 запросов, полученных из различных областей за более чем десять лет, Ellipso Technology также предоставляет услуги по консультации клиентов, которые ищут решения вопросов, возникающих в процессе создания тонких пленок.

Небольшой список наших основных клиентов (локальных и зарубежных)

Компании Samsung Electronics, Samsung SDI, Samsung Electro-Mechanics, Samsung Corning, Samsung Advanced Institute of Technology, KCC, LG Electronics, LG Chemical, LG Siltron, Saehan Media, Orion Electric, SKC, Taehan Sugar, DongWoo Fine-Chem, Kolon, KC Tech, Ness Display, Jusung Engineering
Исследовательские центры

Корейский научно-исследовательский институт электротехнологии, Корейский институт машиностроения, Корейский научно-исследовательский институт стандартизации, Корейский научно-исследовательский институт электроники и телекоммуникаций, Корейский институт фундаментальных наук
Образовательные учреждения Kyung Hee University, Seoul National University, Yonsei University, POSTECH, KAIST, Korea University, Sogang University, Ulsan University, Sungkyunkwan University, Hanyang University, Konkuk University, GIST, Chungju National University, Pusan National University, Ajou University, Inha University
Зарубежные компании HORIBA, Ltd. Miwa Opto, (Япония)
Tohoku University (Япония)
ASAHI GLASS (Япония)
Ecole Polytechnique (Франция)
ANWELL (Китай)
INER (Institute of Nuclear Energy Research) (Тайвань)
National Taiwan University (Тайвань)

Стоимость услуги по измерению зависит от градации тестовых образцов для анализа:

  • Единичный образец (подложка, пластина, стекло, т.п.)
  • Несколько одинаковых образцов (например, 50 нм, 100 нм)
  • Неизвестный образец с многослойной структурой
  • PET пленки и новые материалы

В связи с тем, что для обработки запроса на точные измерения различных материалов должны работать самые опытные инженеры, номинальное количество образцов, которые мы можем обработать, составляет 5 образцов за один рабочий день. В некоторых случаях для измерения образца требуется всего 2-3 часа, так как на поверхности образцов после различных условий технологического процесса изготовления получаются самые разнообразные результаты.

Мы надеемся, что Вы понимаете данную ситуацию, а компания Ellipso Technology сделает все возможное, чтобы предоставить более точные и быстрые услуги в самый короткий срок.

Технические характеристики

  • Диапазон длин волн: 380 ~ 1000 нм
  • Размер светового пятна: 40 мкм, 20 мкм, 10 мкм
  • Диапазон толщин: 10 нм – 50 мкм (зависит от типа пленки)
  • Число слоев: до 3 (зависит от типа пленки)
  • Производительность: < 0.5 с на точку (зависит от типа пленки)
  • Повторяемость: ±1 Å за 10 измерений
Похожее оборудованиеВ каталог
  • Для исследования характеристик всех типов материалов: диэлектриков, полупроводников, органики и многих других
  • Измеряемые константы: толщина пленки, n, k через λ
  • Производительность 10~15 с на точку(зависит от типа пленки)
  • Для надежного, быстрого и точного измерения толщин пленок
  • Измеряет толщину пленки, n, k через λ, отражательную способность
  • Производительность: 0.5 с на точку
  • Повторяемость ± 1Å при измерении 10 раз
  • Предназначена для анализа сильных, слабых и нулевых фазовых пленок
  • Определяет оптические оси, параметры Rin и Rth, оси затухания поляризационных пленок
  • Производительность: < 25 с на точку
  • Для высокоточных измерений толщин пленок
  • Измеряемые константы: отражательная способность, толщина пленки, n, k через λ 
  • Производительность: < 1 с на точку (зависит от типа пленки)
  • Энергия импульса до 10 мдж
  • Длительность импульсов < 2 нс
  • Частота следования импульсов до 50 Гц
  • Встроенный генератор синхроимпульса для запуска внешнего оборудования
  • Нанесение тонких пленок на стекле, металле, полупроводниках и других твердых материалах.
  • Скорость вращения 100 – 10000 об/мин.
  • Ускорение 40 - 5000 об/мин/сек
  • Камера 8" - 10'" (в зависимости от модели).
  • Вакуумный держатель подложек.
  • Возможность продувки рабочей камеры инертным газом.
  • Опции управления с ПК, обогрев, УФ осушители.