Спектральный микрорефлектометр

Спектральный микрорефлектометр Elli-RSc

  • Простота и высокая скорость измерений
  • Высокая воспроизводимость анализа
  • Бесконтактный неразрушающий метод анализа
  • Возможность измерения многослойных материалов

Производитель Ellipso Technology

Описание

Микроскопическая система для измерения толщины и отражательной способности

Спектральная рефлектометрия (SR) является надежным, быстрым и точным методом для анализа толщины пленки и оценки ее отражательной способности. Elli-RSc имеет очень маленький диаметр измерительного пятна, что может использоваться для анализа больших образцов с мелкой гетерогенной структурой для определения характеристик различных материалов (например, диэлектриков, полупроводников, органических веществ и т. д.).

Микроскопическая система для измерения толщины и отражательной способности рефлектометр

Отличительные особенности

  • Простота и высокая скорость измерений
  • Высокая воспроизводимость анализа
  • Бесконтактный неразрушающий метод анализа
  • Возможность измерения многослойных материалов
  • Контроль перемещения по XYZ

Области применения

  • Определение толщины тонких пленок диэлектриков, полупроводников, полимеров
  • Измерение отражательной способности
  • Анализ сверхтонких и сверхтолстых пленок
  • Измерение толщины подложек: Si, GaAs, Al, стекло, Al2O3, PC, PET и др.
  • Измеряемые материалы

Полупроводники: Si, SiC, Ge, ONO, ZnO, PR, поликристаллический-Si, GaN, GaAs, Si3N4

Дисплеи: ITO, PR, MgO, Alq3, CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO2

Диэлектрики: SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, влажное окисление

Полимеры: красители, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR

Химия: органические пленки (OLED), тонкие пленки Ленгмюра-Блоджетт

Солнечные элементы: SiN, a-Si, поликристаллический Si, SiO2

Опции и аксессуары

  1. Измерение толстых пленок до 300 мкм
  2. Уменьшенный диаметр измерительного пятна: 4 мкм
  3. Увеличенные размеры предметного столика: 200 × 200 мм, 300 × 300 мм
  4. Система автоматической фокусировки с цветной ПЗС-камерой
  5. Антивибрационная платформа

Сервис анализа образцов

Компания Ellipso Technology предлагает аналитические услуги для анализа Ваших образцов

Компания Ellipso Technology предоставляет своим клиентам решение, включающее такие данные, как толщина, показатель преломления, коэффициент затухания и плотность тонкопленочных материалов, а также, другие возможные свойства, которые могут быть исследованы оптическим методом. Точность технологии и точность анализа Ellipso Technology пользуются доверием множества компаний и исследовательских институтов, а также учебных заведений.

Основываясь на знаниях и опыте, накопленных в ходе более чем 2000 запросов, полученных из различных областей за более чем десять лет, Ellipso Technology также предоставляет услуги по консультации клиентов, которые ищут решения вопросов, возникающих в процессе создания тонких пленок.

Небольшой список наших основных клиентов (локальных и зарубежных)

Компании Samsung Electronics, Samsung SDI, Samsung Electro-Mechanics, Samsung Corning, Samsung Advanced Institute of Technology, KCC, LG Electronics, LG Chemical, LG Siltron, Saehan Media, Orion Electric, SKC, Taehan Sugar, DongWoo Fine-Chem, Kolon, KC Tech, Ness Display, Jusung Engineering
Исследовательские центры

Корейский научно-исследовательский институт электротехнологии, Корейский институт машиностроения, Корейский научно-исследовательский институт стандартизации, Корейский научно-исследовательский институт электроники и телекоммуникаций, Корейский институт фундаментальных наук
Образовательные учреждения Kyung Hee University, Seoul National University, Yonsei University, POSTECH, KAIST, Korea University, Sogang University, Ulsan University, Sungkyunkwan University, Hanyang University, Konkuk University, GIST, Chungju National University, Pusan National University, Ajou University, Inha University
Зарубежные компании HORIBA, Ltd. Miwa Opto, (Япония)
Tohoku University (Япония)
ASAHI GLASS (Япония)
Ecole Polytechnique (Франция)
ANWELL (Китай)
INER (Institute of Nuclear Energy Research) (Тайвань)
National Taiwan University (Тайвань)

Стоимость услуги по измерению зависит от градации тестовых образцов для анализа:

  • Единичный образец (подложка, пластина, стекло, т.п.)
  • Несколько одинаковых образцов (например, 50 нм, 100 нм)
  • Неизвестный образец с многослойной структурой
  • PET пленки и новые материалы

В связи с тем, что для обработки запроса на точные измерения различных материалов должны работать самые опытные инженеры, номинальное количество образцов, которые мы можем обработать, составляет 5 образцов за один рабочий день. В некоторых случаях для измерения образца требуется всего 2-3 часа, так как на поверхности образцов после различных условий технологического процесса изготовления получаются самые разнообразные результаты.

Мы надеемся, что Вы понимаете данную ситуацию, а компания Ellipso Technology сделает все возможное, чтобы предоставить более точные и быстрые услуги в самый короткий срок.

Характеристики

Измеряемые параметры Толщина пленки, отражательная способность
Диапазон толщин От 10 нм до 50 мкм (зависит от типа пленки)
Рабочий спектральный диапазон 450 – 900 нм
Скорость анализа 1 сек/точка (зависит от типа пленки)
Диаметр измерительного пятна 50 мкм, 30 мкм, 10 мкм
Количество анализируемых слоев До 3 слоев (зависит от типа пленки)
Воспроизводимость (3σ) ± 0.1 нм на 10 измерений
Размер предметного столика 140 × 130 мм
Диапазон перемещений 100 × 100 мм