Нажимая кнопку «Подписаться», вы принимаете условия «Соглашения на обработку персональных данных».
Вебинар «Получение SCM изображений с помощью SmartScan»
15 Мая 2020 г. 22:00 – 22:30 (Москва)
Сканирующая емкостная микроскопия (SCM) – это улучшенный режим визуализации атомно-силовых микроскопов компании Park Systems, используемый для картирования различных уровней легирования неоднородно легированных образцов полупроводников. Он предоставляет информацию о концентрации легирования на поверхности образца путем измерения изменения емкости между кантилевером и образцом.
В ходе данного вебинара будет продемонстрировано, как получить профиль легирования для образца с помощью SCM режима, а также будут рассмотрены базовый принцип, настройка оборудования и анализ полученных данных.
Вебинар будет представлен Jiali Zhang – инженером технической поддержки, Park Systems.
Не упустите оставшиеся вебинары данной серии!
- 22 мая: SmartScan: Литография
- 29 мая: SmartScan: Сканирующая ион-проводящая микроскопия (SICM)
- 5 июня: SmartScan: Автоматическая обработка изображений и сшивание изображений
- 12 июня: SmartScan: наномеханический режим измерений
- 19 июня: SmartScan: Получение АСМ изображений в жидкости