Южная Кореяhttps://femtoscience.co.kr/en/
Femto Science
Уже более 17 лет Femto Science Inc. поставляет широкий спектр плазменных систем и установок для нанесения париленового покрытия исследовательским институтам и предприятиям по всему миру. Закладывая в основу 5 компонентов — реактор, генератор, газовый расходомер, контроллер процесса и программное обеспечение, Femto Science Inc. предлагает клиентам компактные, надежные и безопасные приборы. Компания поддерживает стандарты сотрудничества на самом высоком уровне, чтобы максимально точно решить поставленную задачу.
Продукты компании
- Режим работы: PE (плазменное травление)
- Камера: 140 x 200 x 110 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 100 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 100 см3
- Манометрическое давление: атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Размеры: 52 х 76 х 270 мм (Ш х Г х В)
- Вес: 375 г
- Мощность: Низкая, средняя, высокая
- Материалы: Пластик, металл (изнутри)
- Газ: Ar (0,5-1,5 бар)
- Режим работы: PE (плазменное травление)
- Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 200 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 200 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Плазма: Диэлектрический барьерный разряд
- Газ: Ar, O2
- Генератор: 13,56 МГц / Макс. 300 Вт
- Контроллер: Автоматическое и ручное управление с помощью 7-дюймового сенсорного ПК
- Режим работы: PE (плазменное травление)
- Камера: 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 500 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Плазма: Диэлектрический барьерный разряд
- Газ: Ar, O2
- Генератор: 13,56 МГц / Макс. 300 Вт
- Контроллер: Автоматическое и ручное управление с помощью 7-дюймового сенсорного ПК
- Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE(реактивное ионное травление) / Двойной режим
- Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 200 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление)
- Камера: 140 x 200 x 110 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 100 Вт /
- Расходомер газовый: Макс. 100 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление
- Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 200 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 200 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE(реактивное ионное травление)
- Камера: 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В)
- Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 500 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление) / Двойной режим
- Камера: 330 x 350 x 340 мм (Ш х Г х В)
- Генератор:20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт /13,56 МГц Макс. 300 Вт или 600 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 500 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: RIE (реактивное ионное травление)
- Камера: 9,2 дюйма
- Генератор: 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 200 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
- Режим работы: RIE (реактивное ионное травление)
- Камера: 14,4 дюйма
- Генератор: 13,56 МГц Макс. 300 Вт
- Расходомер газовый: Макс. 200 см3
- Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр