Установки плазменного (плазмохимического) травления

Травление с использованием низкотемпературной газоразрядной плазмы относится к методам сухого травления и чаще всего используется для изготовления интегральных схем в производстве полупроводников, дисплеев и микроэлектромеханических систем.

COVANCE Вакуумно-плазменная система — настольная
  • Режим работы: PE (плазменное травление)
  • Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 200 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 200 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Узнайте цену
Характеристики
COGRADE Вакуумно-плазменная система — настольная
  • Режим работы: PE (плазменное травление)
  • Камера: 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 500 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Узнайте цену
Характеристики
COVANCE-RF Вакуумно-плазменная система — настольная
  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE(реактивное ионное травление) / Двойной режим
  • Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 200 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Узнайте цену
Характеристики
CIONE 4 Двойная вакуумно-плазменная система
  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление)
  • Камера: 140 x 200 x 110 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 100 Вт /
  • Расходомер газовый: Макс. 100 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Узнайте цену
Характеристики
CIONE 6 Двойная вакуумно-плазменная система
  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление
  • Камера: 200 x 220 x 160 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 200 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 200 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Узнайте цену
Характеристики
CIONE 8 Двойная вакуумно-плазменная система
  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE(реактивное ионное травление)
  • Камера: 250 x 300 x 200 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор: 20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт / 13,56 МГц Макс. 300 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 500 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Узнайте цену
Характеристики
COWIN Индивидуальная вкуумно-плазменная система
  • Режим работы: PE (плазменное травление) / RIE (реактивное ионное травление) / Двойной режим
  • Камера: 330 x 350 x 340 мм (Ш х Г х В)
  • Генератор:20 ~ 100 кГц Макс. 300 Вт /13,56 МГц Макс. 300 Вт или 600 Вт
  • Расходомер газовый: Макс. 500 см3
  • Манометрическое давление: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Узнайте цену
Характеристики
В каталог