Определение бор-кислородных комплексов

Бор-кислородные комплексы являются одной из основных причин, почему солнечные элементы деградируют при облучении солнечным светом. Следовательно, необходимо измерять плотность бор-кислорода в кремнии как можно быстрее, без разрушения и с высоким разрешением.

Бор-кислородные комплексы можно активировать, облучая образец светом, и деактивировать, нагревая образец до 200°C в течение нескольких минут. Данный метод может быть использован для определения относительной плотности данных комплексов, аналогично методу определения концентрации железа, путем измерения времени жизни носителей заряда до и после активации дефектных комплексов.

Плотность бор-кислородных комплексов определяется следующим уравнением:

Плотность бор-кислородных комплексов

Для определения бор-кислорода используется калибровочный фактор CBO, который зависит от инжекции и концентрации легирующего компонента. Благодаря измерителю MDPmap и нагреваемому предметному столику определение концентрации хрома возможно как в поли-, так и в монокристаллическом кремнии с высоким разрешением.

Результирующая карта относительной плотности бор-кислорода после нагрева

Результирующая карта относительной плотности бор-кислорода после нагрева.

Измерители электрических свойств полупроводников

  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 50 × 50 мм до 210 × 210 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 5 × 5 мм до Ø300 мм (до Ø450 мм по запросу)
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм
     
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 50 × 50 мм до 156 × 156 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм или от Ø100 мм до Ø450 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм
Узнать цену