Определение концентрации хрома (CrB) в кремнии

Определение концентрации хрома очень важно, так как хром является одним из наиболее распространенных, а также наиболее вредных дефектов в кремнии. Следовательно, необходимо измерять плотность хрома как можно точнее и быстрее. Измеритель модели MDPmap может быть оснащен опциональным столиком с подогревом, что позволяет измерять концентрацию хрома в пластинах с высокой автоматизацией и разрешением.

Измерение времени жизни до и после диссоциации пары бор-хром является широко используемым методом определения хрома в кремнии. В кремнии, легированным бором в высокой концентрации, поскольку он используется для фотоэлектрических применений, почти 100% электроактивного хрома присутствует в виде CrB пар. При достаточной энергии облучения эти пары могут быть диссоциированы в Cr_i и B. Данный процесс обратим и через некоторое время все пары CrB снова связываются. Однако данный процесс занимает гораздо больше времени, чем аналогичный для FeB. CrB и Cr_i имеют разные рекомбинационные свойства, поэтому диссоциация влияет на измеряемое время жизни. Учитывая данный эффект, концентрация хрома может быть рассчитана по следующей формуле:

Для определения хрома используется калибровочный фактор C, который зависит от инжекции и концентрации легирующего компонента. Благодаря измерителю MDPmap и нагреваемому предметному столику определение концентрации хрома возможно как в поли-, так и в монокристаллическом кремнии с высоким разрешением.

Результирующая карта концентрации хрома после нагрева.