Поточная метрология mc-Si брусков

Измерение времени жизни носителей заряда широко используется для контроля качества материалов, особенно в фотоэлектрической промышленности. Делая еще один технологический шаг вперед и проводя измерения путем линейного сканирования, открывается возможность проведения сортировки низкокачественных заготовок брусков поликристаллического кремния перед их распиловкой. Это позволяет избавиться от бракованных устройств на первых этапах производства.

С помощью измерителя MDP inline ingot предоставляется возможность измерения всех четырех граней бруска менее чем за минуту с пространственным разрешением 1 мм. В ходе измерений одновременно анализируются изменения типа проводимости с пространственным разрешением, а также удельное сопротивление образца. Далее, по измеренным параметрам времени жизни, удельного сопротивления или типа проводимости, пользователем определяются критерии резания, которые могут быть перенесены в базу данных оборудования – это позволяет автоматизировать мониторинг материалов, использующихся в фотоэлектрической промышленности. Дополнительно может быть измерена концентрация железа по любой из граней за 2.5 мин.

Автоматизированное определение критерия резания по времени жизни носителей заряда

Автоматизированное определение критерия резания по времени жизни носителей заряда

Регистрация изменения типа проводимости: пространственное разрешение 1 мм

Регистрация изменения типа проводимости: пространственное разрешение 1 мм

Измерители электрических свойств полупроводников

  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 50 × 50 мм до 210 × 210 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 5 × 5 мм до Ø300 мм (до Ø450 мм по запросу)
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм
     
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 50 × 50 мм до 156 × 156 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм или от Ø100 мм до Ø450 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм
Узнать цену