Определение концентрации железа

Точное определение концентрации железа очень важно, поскольку железо является одним из наиболее распространенных, а также наиболее вредных дефектов в кремнии. Следовательно, необходимо измерять концентрацию железа как можно точнее и быстрее, с очень высоким разрешением и предпочтительно прямо на линии производства.

С помощью наших измерителей серии MDP открывается возможность измерения концентрации железа в брусках и пластинах с высокой автоматизацией и разрешением.

Измерение времени жизни до и после диссоциации пары бор-железо является широко используемым методом определения железа в кремнии. В кремнии, легированным бором в высокой концентрации, поскольку он используется для фотоэлектрических применений, почти 100% электроактивного железа присутствует в виде FeB пар. При достаточной энергии облучения эти пары могут быть диссоциированы в Fei и B. Данный процесс обратим и через некоторое время все пары FeB снова связываются. FeB и Fei имеют разные рекомбинационные свойства, поэтому диссоциация влияет на измеряемое время жизни. Учитывая данный эффект, концентрация железа может быть рассчитана по следующей формуле:

концентрация железа

Для определения железа используется калибровочный фактор C, который зависит от инжекции, концентрации легирующего компонента и концентрации фазовых ловушек, что особенно должно учитываться при анализе поликристаллического кремния. Благодаря измерителям MDP определение концентрации железа возможно как в поли-, так и в монокристаллическом кремнии с высоким разрешением и высокой точностью.

Карта времени жизни носителей до облучения и результирующая карта концентрации железа

Карта времени жизни носителей до облучения и результирующая карта концентрации железа.

Измерители электрических свойств полупроводников

  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 50 × 50 мм до 210 × 210 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 5 × 5 мм до Ø300 мм (до Ø450 мм по запросу)
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм
     
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 50 × 50 мм до 156 × 156 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм или от Ø100 мм до Ø450 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм
Узнать цену