Применение лазерного сканирующего микроскопа NS-3500 для исследования прозрачных слоев

Лазерный сканирующий микроскоп NS-3500 находит применение в такой области как исследование прозрачных структур. С его помощью можно наблюдать прозрачные слои, нанесенные, например, на микросхемы. Также с его помощью можно контролировать покрытия на наличие разрывов или отсутствие контакта между слоями, т.е. контролировать технологический процесс нанесения.

Технология получения изображения слоев Измерение прозрачных и полупрозрачных слоев лазерным микроскопом

Здесь представлена технология получения изображения слоев. Структура слоев получается путем «разрезания» исследуемого образца в определенном сечении.

Толщина всех прозрачных слоев может быть получена в различных местах исследуемого образца и будет иметь свое значение в каждом поперечном сечении. Лазерный микроскоп NS-3500 может производить измерения как прозрачных, так и полупрозрачных слоев.

На рисунках ниже представлен общий вид образца и профили прозрачных слоев в поперечном сечении. Область поперечного сечения отображена красной линией.

Общий вид образца и профили прозрачных слоев в поперечном сечении Прозрачный слой в поперечном сечении

Прозрачный слой в поперечном сечении под лазерным микроскопом Поперечное сечение прозрачного слоя под сканирующим микроскопом

Поперечное сечение прозрачного слоя под микроскопом NS-3500

Иногда можно столкнуться с проблемой наложения слоев друг на друга. Это происходит при наличии какой-либо «ступеньки». Более детальное представление показано на рисунке ниже.

Наложение слоев Вид профиля слоя

Данные измерений показывают, что в определенном месте сечения наблюдается «ступенька» высотой 1.5 мкм. Решить данную проблему можно следующим способом.

Сечение слоя

Если рассматривать всю структуру целиком как плоскую поверхность и делать более детальные сечения. Тогда в сечении будет отображаться верхняя плоская поверхность, а также будут наблюдаться «ступеньки» во внутренних слоях.

Внутренняя структура слоя под лазерным сканирующим микроскопом Пошаговая структура слоя

Данные о структуре и расположении слоев

Вне зависимости от высоты «ступеньки», с помощью данного подхода можно получать точные данные о структуре и расположении всех слоев.

Общий вид структуры в 3D изображении

Также общий вид структуры можно наблюдать в виде 3D-изображения и также выбирать интересующую для исследования область или сечение.

  • Увеличение линзового объектива: 10х, 20х, 50х, 100х, 150х
  • Оптическое увеличение: от 1х до 6х
  • Общее увеличение: от 178х до 26700х
  • Неразрушающий оптический 3D-контроль
  • Одновременная конфокальная микроскопия и микроскопия белого света
  • Автоматический поиск усиления с тонким автофокусом
Узнать цену