Применение лазерного сканирующего микроскопа NS-3500 для исследования прозрачных слоев

Лазерный сканирующий микроскоп NS-3500 находит применение в такой области как исследование прозрачных структур. С его помощью можно наблюдать прозрачные слои, нанесенные, например, на микросхемы. Также с его помощью можно контролировать покрытия на наличие разрывов или отсутствие контакта между слоями, т.е. контролировать технологический процесс нанесения.

Здесь представлена технология получения изображения слоев. Структура слоев получается путем «разрезания» исследуемого образца в определенном сечении.

Толщина всех прозрачных слоев может быть получена в различных местах исследуемого образца и будет иметь свое значение в каждом поперечном сечении. Лазерный микроскоп NS-3500 может производить измерения как прозрачных, так и полупрозрачных слоев.

На рисунках ниже представлен общий вид образца и профили прозрачных слоев в поперечном сечении. Область поперечного сечения отображена красной линией.

Иногда можно столкнуться с проблемой наложения слоев друг на друга. Это происходит при наличии какой-либо «ступеньки». Более детальное представление показано на рисунке ниже.

Данные измерений показывают, что в определенном месте сечения наблюдается «ступенька» высотой 1.5 мкм. Решить данную проблему можно следующим способом.

Если рассматривать всю структуру целиком как плоскую поверхность и делать более детальные сечения. Тогда в сечении будет отображаться верхняя плоская поверхность, а также будут наблюдаться «ступеньки» во внутренних слоях.

Вне зависимости от высоты «ступеньки», с помощью данного подхода можно получать точные данные о структуре и расположении всех слоев.

Также общий вид структуры можно наблюдать в виде 3D-изображения и также выбирать интересующую для исследования область или сечение.