Конфокальный лазерный сканирующий микроскоп NS-3500

Получение конфокального микроскопического изображения в режиме реального времени достигается за счет быстрых оптических сканирующих модулей и алгоритмов обработки сигналов. Данная система является перспективным решением для измерения и проверки микроскопических 3D структур, таких как полупроводниковые пластины, FPD панелей, MEMS устройств, стеклянных подложек и поверхностей материалов.

• Различное оптическое увеличение
• Точное и надежное высокоскоростное измерение высоты
• Проверка функций с помощью полупрозрачной подложки
• Отсутствие пробоподготовки
• Двойной режим сканирования по высоте
• Возможность сшивания изображений при сканировании больших областей

3D микроскоп NS-3500 одновременно выводит на экран цветное изображение с ПЗС-камеры, а также конфокальное изображение, полученное при сканировании лазерным лучом. Возможность измерения высоты доступна благодаря конфокальному расположению источника, образца и детектора. Благодаря использованию конфокальной техники на фотодетектор попадает только сфокусированный сигнал. Это свойство определяет оптическую селективную способность конфокального микроскопа NS-3500. Конфокальная диафрагма также улучшает качество изображения, исключая шум от внешней области вне фокуса.

Для получения 3D-профиля поверхности образца, оптически-секционные плоские изображения собираются вдоль оси Z. Интенсивность света становится максимальной, когда поверхность образца размещена в фокальной плоскости, а осевая координата поверхности образца может быть найдена непосредственно. С помощью фиолетового лазера, фотоумножителя (ФЭУ) и пьезоэлектрического осевого сканера NS-3500 выполняет конфокальное оптическое секционирование наиболее надежным способом.

• Простое и интуитивное управление даже для новых пользователей
• ПЗС изображение, конфокальное изображение, а также основная панель управления одновременно отображаются на одном экране
• Разные параметры настройки предназначены для передовых приложений
• Построение конфокального изображения в режиме реального времени обеспечивает немедленную обратную связь с оборудованием
• Отдельное окно анализа с удобными графическими инструментами для создания отчетности
• Объемный графический вид позволяет пользователю легко распознать микроскопическую структуру образца

Управляющее программное обеспечение NSWorks

Аналитическое программное обеспечение NSViewer

Лазерный сканирующий микроскоп N5-3500 предназначен для измерения высоты, ширины, угла, площади и объема микро- и субмикро- структур, таких как:

• Полупроводники IC структура, высота структуры, дефектация, CMP процесс
• Производство FPD – высота пространственных ЖК столбцов, высота ребер PDP, обследование покрытия
• Устройства на основе МЭМС – 3D профилирование структуры, шероховатость поверхности, MEMS структура
• Стеклянные поверхности – тонкопленочные солнечные элементы, лазерное формирование изображения, глубина царапин
• Исследование материала – проверка опорной поверхности, шероховатость, анализ трещин, исследование прозрачных слоев

По умолчанию область сканирования составляет 150 × 150 мм, также ее можно легко расширить до 200 × 200 мм. Можно увеличить область сканирования еще больше, но при этом конструкция изменится.
Если образцы одинаковые, Вы можете очень легко проводить повторные измерения (в полуавтоматическом режиме). Процесс выглядит следующим образом:

• Поместите образец на предметный столик
• Нажмите кнопку «Run»
• Образец переместится в определенное положение и будет произведено измерение

Объективы с различным увеличением
Объективы могут быть сделаны в соответствии с потребностями клиентов. Правильный выбор объективов с учетом области применения и условий эксплуатации позволит оптимизировать оптические характеристики NS-3500.

Моторизированная турель
Переключение объективов с помощью моторизованной револьверной головки позволяет увеличить эффективность работы.

Моторизированный XY предметный столик
Моторизированный XY предметный столик может быть сопряжен с NS-3500 и управляться с помощью мыши или джойстика. Сшитие изображений будет доступно после обновления программного обеспечения NSViewer.

Применение промышленного модуля
Простота установки и надежная для промышленного оборудования конструкция обеспечивают хорошее решение для работы в полевых условиях. Доступно индивидуальное изменение дизайна.