
Конфокальный лазерный сканирующий микроскоп NS-3500
- Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением
- Конфокальное построение изображений в режиме реального времени
- Одновременная конфокальная микроскопия и микроскопия белого света
- Автоматический поиск усиления с тонким автофокусом
- Компенсация наклона - режим простого анализа
Производитель NANOSCOPE Systems, Inc
Особенности
Получение конфокального микроскопического изображения в режиме реального времени достигается за счет быстрых оптических сканирующих модулей и алгоритмов обработки сигналов. Данная система является перспективным решением для измерения и проверки микроскопических 3D структур, таких как полупроводниковые пластины, FPD панелей, MEMS устройств, стеклянных подложек и поверхностей материалов.
- Различное оптическое увеличение
- Точное и надежное высокоскоростное измерение высоты
- Проверка функций с помощью полупрозрачной подложки
- Отсутствие пробоподготовки
- Двойной режим сканирования по высоте
- Возможность сшивания изображений при сканировании больших областей
Принцип измерения и построения изображений
3D микроскоп NS-3500 одновременно выводит на экран цветное изображение с ПЗС-камеры, а также конфокальное изображение, полученное при сканировании лазерным лучом. Возможность измерения высоты доступна благодаря конфокальному расположению источника, образца и детектора. Благодаря использованию конфокальной техники на фотодетектор попадает только сфокусированный сигнал. Это свойство определяет оптическую селективную способность конфокального микроскопа NS-3500. Конфокальная диафрагма также улучшает качество изображения, исключая шум от внешней области вне фокуса.
![]() |
![]() |
Для получения 3D-профиля поверхности образца, оптически-секционные плоские изображения собираются вдоль оси Z. Интенсивность света становится максимальной, когда поверхность образца размещена в фокальной плоскости, а осевая координата поверхности образца может быть найдена непосредственно. С помощью фиолетового лазера, фотоумножителя (ФЭУ) и пьезоэлектрического осевого сканера NS-3500 выполняет конфокальное оптическое секционирование наиболее надежным способом.
Программное обеспечение NSWorks & NSViewer
- Простое и интуитивное управление даже для новых пользователей
- ПЗС изображение, конфокальное изображение, а также основная панель управления одновременно отображаются на одном экране
- Разные параметры настройки предназначены для передовых приложений
- Построение конфокального изображения в режиме реального времени обеспечивает немедленную обратную связь с оборудованием
- Отдельное окно анализа с удобными графическими инструментами для создания отчетности
- Объемный графический вид позволяет пользователю легко распознать микроскопическую структуру образца
![]() Управляющее программное обеспечение NSWorks |
![]() Аналитическое программное обеспечение NSViewer |
Области применения
Лазерный сканирующий микроскоп N5-3500 предназначен для измерения высоты, ширины, угла, площади и объема микро- и субмикро- структур, таких как:
- Полупроводники IC структура, высота структуры, дефектация, CMP процесс
- Производство FPD – высота пространственных ЖК столбцов, высота ребер PDP, обследование покрытия
- Устройства на основе МЭМС – 3D профилирование структуры, шероховатость поверхности, MEMS структура
- Стеклянные поверхности – тонкопленочные солнечные элементы, лазерное формирование изображения, глубина царапин
- Исследование материала – проверка опорной поверхности, шероховатость, анализ трещин, исследование прозрачных слоев
Функциональные возможности
По умолчанию область сканирования составляет 150 × 150 мм, также ее можно легко расширить до 200 × 200 мм. Можно увеличить область сканирования еще больше, но при этом конструкция изменится.
Если образцы одинаковые, Вы можете очень легко проводить повторные измерения (в полуавтоматическом режиме). Процесс выглядит следующим образом:
- Поместите образец на предметный столик
- Нажмите кнопку «Run»
- Образец переместится в определенное положение и будет произведено измерение
Изображения образцов
Принадлежности
Объективы с различным увеличением
Объективы могут быть сделаны в соответствии с потребностями клиентов. Правильный выбор объективов с учетом области применения и условий эксплуатации позволит оптимизировать оптические характеристики NS-3500.
Моторизированная турель
Переключение объективов с помощью моторизованной револьверной головки позволяет увеличить эффективность работы.
Моторизированный XY предметный столик
Моторизированный XY предметный столик может быть сопряжен с NS-3500 и управляться с помощью мыши или джойстика. Сшитие изображений будет доступно после обновления программного обеспечения NSViewer.
Применение промышленного модуля
Простота установки и надежная для промышленного оборудования конструкция обеспечивают хорошее решение для работы в полевых условиях. Доступно индивидуальное изменение дизайна.
Технические характеристики
Модель | Микроскоп | NS-3500 | Примечание | ||||
Контроллер | NS-3500Е | ||||||
Увеличение линзового объектива | 10х | 20х | 50х | 100х | 150х | ||
Наблюдение / Диапазон измерений | Горизонтальное (Г): мкм | 1400 | 700 | 280 | 140 | 93 | |
Вертикальное (В): мкм | 1050 | 525 | 210 | 105 | 70 | ||
Рабочее расстояние: мм | 16,5 | 3,1 | 0,54 | 0,3 | 0,2 | ||
Числовая апертура (N.A.) | 0,30 | 0,46 | 0,80 | 0,95 | 0,95 | ||
Оптическое увеличение | От 1х до 6х | ||||||
Общее увеличение | От 178х до 26700х | ||||||
Оптическая система для обзора/измерения | Конфокальная оптическая система (пинхол) | ||||||
Измерение высоты | Диапазон сканирования | Точное сканирование : 400 мкм и/или грубое сканирование: 10 мм ( NS-3500-S) | Примечание 1 | ||||
Точное сканирование : 200 мкм или грубое сканирование: 10 мм ( NS-3500-T) | |||||||
Разрешение дисплея | 0.001 мкм | ||||||
Повторяемость σ | 0.010 мкм | Примечание 2 | |||||
Измерение ширины | Разрешение дисплея | 0.001 мкм | |||||
Повторяемость 3σ | 0.02 мкм | Примечание 3 | |||||
Память кадров | Количество пикселей | 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | |||||
Для монохромного изображения | 12 бит | ||||||
Для цветного изображения | 8-бит для каждого RGB | ||||||
Для измерения высоты | 16 бит | ||||||
Частота кадров | Сканирование поверхности | От 20 до 160 Гц | |||||
Линейное сканирование | ~8 кГц | ||||||
Автоматические функции | Автоусиление, автофокусировка | ||||||
Лазерный источник для конфокальных измерений | Длина волны | Фиолетовый лазер, 405 нм | |||||
Выходная мощность | ~2 мВт | ||||||
Класс лазера | Класс 3b | ||||||
Приемник лазерного излучения | ФЭУ (фотоэлектронный умножитель) | ||||||
Источник света для оптического наблюдения | Лампа | 10 Вт LED | |||||
Цветовая камера для оптического наблюдения | Тип | 1/2" цветная CCD матрица | |||||
Разрешение записи | 640x480 | ||||||
Автонастройка | Усиление, Скорость шаттера | ||||||
Блок обработки данных | Специализированный ПК | ||||||
Источник питания | Напряжение источника питания | от 100 до 240 В, 50/60 Гц | |||||
Потребляемая мощность | макс. 500 В*А | ||||||
Вес | Микроскоп | ~ 50 кг (измерительная головка: ~ 11 кг) | |||||
Контроллер | ~ 8 кг | ||||||
Защитная система | Активная защита | Опция |
Примечание 1: Точное сканирование осуществляется пьезо исполнительным механизмом (PZT)
Двойной режим точного и грубого сканирования доступен только для NS-3500-S (используется один объектив).
Примечание 2 : Стандартный образец измерен 100 раз (1 мкм высота ступени) с объективом 100х/0,95.
Примечание 3 : Стандартный образец измерен 100 раз (5 мкм высота ступени) с объективом 100х/0,95.