Высокоскоростной конфокальный лазерный сканирующий микроскоп NS-3500

NS-3500 представляет собой высокоскоростной конфокальный лазерный сканирующий микроскоп (CLSM) для проведения высокоточных и надежных трехмерных измерений топографии поверхности. Получение конфокального микроскопического изображения в реальном времени достигается за счет использования быстрых сканирующих оптических модулей и алгоритмов обработки данных.

Данная система является перспективным решением для измерения и проверки трехмерных микроскопических структур, таких как полупроводниковые подложки, FPD панели, MEMS устройства, стеклянные подложки и просто различные поверхности. Микроскоп NS-3500 позволяет проводить измерения в различных областях (область сканирования размером до 10 × 10 мм) образцов с размерами до 150×150 мм за счет большого диапазона перемещения предметного столика. Также имеется опциональная возможность расширения платформы до 200×200 мм.

При необходимости измерения различных точек/областей более габаритных образцов доступна модификация измерительной головки промышленного типа (см. NS-3800).

• Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением
• Получение конфокального изображения в реальном времени
• Различное оптическое увеличение для наблюдаемой области
• Одновременная конфокальная микроскопия и микроскопия белого света
• Автоматический поиск усиления для тонкой фокусировки
• Компенсация наклона
• Простота анализа полученных данных
• Высокоточное и высокоскоростное измерение высоты
• Возможность качественного анализа толщины полупрозрачных материалов
• Отсутствие пробоподготовки
• Режим двойного сканирования вдоль вертикальной оси Z
• Сшивание изображений для анализа больших областей

Лазерный сканирующий микроскоп NS-3500 является идеальным решением для измерения высоты, ширины, глубины, углов, площади, а также объемной визуализации микроструктур, таких как:

• Полупроводники – IC подложки, высота выступов/ступеней и проволочных петлей, анализ дефектов, CPM процессы (химико-механическая планаризация)
• Плоскопанельные дисплеи (FPD) – анализ сенсорных панелей, ITO подложек, высота разделительной колонны в ЖК-дисплее
• МЭМС устройства – трехмерный профиль структуры, шероховатость поверхности, подложки
• Стеклянные поверхности – тонкопленочные солнечные элементы, текстура солнечного элемента, анализ рисунка после лазерного воздействия
• Исследование материалов – анализ опорных поверхностей зажимного устройства, шероховатости и сколов
• Исследование прозрачных слоев

Управляющее программное обеспечение NSWorks

Программное обеспечение для анализа данных NSViewer

• Простое и интуитивное управление даже для новых пользователей
• ПЗС изображение, конфокальное изображение, а также основная панель управления одновременно отображаются на одном экране
• Разные параметры настройки предназначены для передовых приложений
• Построение конфокального изображения в режиме реального времени обеспечивает немедленную обратную связь с оборудованием
• Отдельное окно анализа с удобными графическими инструментами для создания отчетности
• Объемный графический вид позволяет пользователю легко распознать микроскопическую структуру образца

При необходимости анализа большой области сканирования (до 15×15 мм макс.) доступно последовательное поточечное измерение мелких областей с их последующим сшиванием. Данная особенность реализована за счет использования моторизированного предметного столика и программной утилиты NSMosaic. После сшивания полученное изображения может быть проанализировано как единое целое со всеми доступными функциями из NSViewer.

Видео-обзор: Сшивание изображений на конфокальном лазерном сканирующем микроскопе NS-3500