Картирование времени жизни носителей 450 мм подложек

В течение следующих лет, с целью увеличения производственных мощностей, микроэлектронная промышленность планирует увеличить размеры подложек с 300 мм до 450 мм. Данная технология производства уже разработана, а проблема заключается только в стоимости адаптации производственных линий к большим размерам подложек. Такие подложки необходимо проверять на наличие внешних и внутренних примесей и, следовательно, необходимы измерения времени жизни с высоким пространственным разрешением.

Компания Freiberg Instruments, при сотрудничестве с Fraunhofer IISB, разработала установку для измерения времени жизни неосновных носителей заряда 450 мм подложек: по сути в ней используется та же измерительная головка, что и в измерителях моделей MDPmap и MDPpro, но с некоторой адаптацией для картирования больших областей. На рис. 1 представлена одна из первых измеренных карт времени жизни носителей, на которой отчетливо видны следы обработки. На рис. 2 и 3 представлены фото установки, находящейся в лаборатории Fraunhofer IISB.

Карта времени жизни неосновных носителей заряда 450 мм подложки

Рис. 1. Карта времени жизни неосновных носителей заряда 450 мм подложки.

Уникальный метрологический модуль для анализа времени жизни носителей заряда с измерительной головкой

Рис 2. Уникальный метрологический модуль для анализа времени жизни носителей заряда с измерительной головкой на основе MDP сенсора, Fraunhofer IISB, проект SEA4KET.

Измерительная MDP головка и 450 мм подложка: крупный план

Рис. 3. Измерительная MDP головка и 450 мм подложка: крупный план.

Измерители электрических свойств полупроводников

  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 50 × 50 мм до 210 × 210 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 5 × 5 мм до Ø300 мм (до Ø450 мм по запросу)
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм
     
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 50 × 50 мм до 156 × 156 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм или от Ø100 мм до Ø450 мм
Узнать цену
  • Удельное сопротивление: 0.2 – 1000 Ом·см, p/n-тип проводимости
  • Измеряемый параметр: время жизни носителей заряда, фотопроводимость
  • Размер образцов: от 125 × 125 мм до 210 × 210 мм
Узнать цену