Другие приборы раздела «Ионно-лучевая очистка»Все приборы раздела
  • Очистка от органических загрязнений теневых масок
  • Отличительные особенности по сравнению с технологией жидкостной очистки
  • Отсутствие недоочищенных участков органики на теневой маске
  • Сохранение формы и структуры маски
  • Нанесение методом термического испарения
  • Одностороннее либо двухстороннее напыление
  • Ионно-лучевая очистка
  • Нагрев подложек до 300 °C
  • Высоковакуумный турбомолекулярный насос