Установка вакуумного напыления Versus 74
- Нанесение методом термического испарения
- Одностороннее либо двухстороннее напыление
- Ионно-лучевая очистка
- Нагрев подложек до 300 °C
- Высоковакуумный турбомолекулярный насос
Производитель Изовак
Описание
Особенности
Установка вакуумного напыления Versus 74, сделанная на современной элементной базе, возрождает успешно зарекомендовавшую себя концепцию вакуумной установки УВН 74.
- Одностороннее либо двухстороннее напыление
- Ионный источник очистки
Технические характеристики
| Размеры обрабатываемых подложек | 48х60х1,0; 48х60х0,5; 48х60х0,25; 30х24х0,3; 30х24х0,2 мм |
| Материалы подложек | Поликор, ситалл и пр. |
| Количество одновременно обрабатываемых подложек 48х60 | Не менее 40 шт. |
| Способ нанесения покрытия | Нанесение покрытий методом термического испарения, опционально возможна установка магнетронного распыления |
| Технологические устройства | Резистивный испаритель, мощность 2 кВт – 1 шт Электронный испаритель с кольцевым катодом, мощность 2,5 кВт – 2 шт Источник ионной очистки |
| Температура нагрева подложек | до 300 оС Разброс температур по карусели – не более ± 5 оС Точность установки температуры – не более ± 5 оС |
| Разброс толщины запыленной пленки по карусели | не более ±5% |
| Контроль толщины напыленной пленки | По кварцевому датчику Резистивный образец – «свидетель» изготавливается на ситалловой подложке, размеры 30,0 х 3 мм, между сформированными контактными площадками окно для запыления длиной 6 мм (2 квадрата) |
| Скорость вращения карусели | Регулируемая в диапазоне 0 - 30 об/мин |
| Система откачки | Высоковакуумный турбомолекулярный насос Низковакуумный спиральный насос |
| Предельное остаточное давление | 8х10-5 Па |
| Время откачки до давления 2·10-4 Па | не более 30 минут |
| Охлаждение | от установленного рециркулятора, для охлаждения технологических устройств |