Другие приборы раздела «Установки магнетронного распыления»Все приборы раздела
  • Возможность использования различных технологических устройств и подложкодержателей
  • Конфигурируется как для исследований, так для пилотного, мелкосерийного производства
  • Оборудование идеально подходит для наненсения драгоценных металлов
  • Возможность встраивания в чистую комнату
  • Наличие шлюза (опция)
  • Возможность использования различных технологических устройств и подложкодержателей
  • Конфигурируется как для исследований, так для пилотного, мелкосерийного производства
  • Оборудование идеально подходит для наненсения драгоценных металлов
  • Возможность встраивания в чистую комнату
  • Наличие шлюза (опция)
  • Максимальный размер h130 x d235 мм
  • Оборудование разработано для обеспечения времени цикла 50-100с
  • Два DC магнетрона
  • Маленькая площадь, легкость работы, гибкость
  • Быстрый цикл нанесения
  • Синхронизация работы с конвейером
  • Исключение задержки между операциями операциями основной покраски(грунтовки), металлизации и завершающего напыления
  • Использование стандартных держателей заказчика
  • Двустороннее нанесение
  • Предварительная ионно-лучевая очистка
  • Нагрев подложек до 400 °С
  • Одновременная обработка 65 подложек
  • Размер подложек 60х48 мм
  • Криопанель и турбомолекулярный насос
  • Замкнутая система водяного охлаждения