Вакуумная установка магнетронного напыления с предварительной ионно-лучевой очисткой Atis - V
- Двустороннее нанесение
- Предварительная ионно-лучевая очистка
- Нагрев подложек до 400 °С
- Одновременная обработка 65 подложек
- Размер подложек 60х48 мм
- Криопанель и турбомолекулярный насос
- Замкнутая система водяного охлаждения
Производитель Изовак
Описание
Особенности
Вакуумная установка Atis 500-V предназначена для нанесения металлических покрытий методом магнетронного распыления с предварительной ионно-лучевой очисткой очисткой и возможностью нагрева обрабатываемых подложек до 400 °С.
Технические характеристики
| Размеры обрабатываемых подложек, мм | 48х60х1,0; 48х60х0,5; 48х60х0,25; 30х24х0,3; 30х24х0,2 |
| Материал обрабатываемых подложек | Поликор |
| Количество одновременно обрабатываемых подложек 48х60, шт. | 65 |
| Тип загрузки обрабатываемых подложек | Ручной |
| Внутренние размеры камеры вакуумной, Ø х H; мм: | 620 х 550 |
| Способ нанесения покрытия | Магнетронное распыление |
| Метод нанесения покрытия | Одностороннее напыление |
| Способ подготовки поверхности перед нанесением покрытия | Ионный источник очистки |
| Толщина наносимого покрытия | |
| Тантал; мкм | до 0,6 |
| Скорость нанесения покрытия | |
| Тантал; мкм/мин, не менее | 0,005 |
| Разброс толщины наносимого покрытия, % не более | ± 2 |
| Методы контроля толщины покрытия: | По кварцевому датчику |
| По резистивному датчику | |
| Максимальная температура нагрева подложек , °С | 400 |
| Разброс температур по карусели, °С не более | ± 2 |
| Точность установки температуры, °С | ± 2 |
|
Режимы управления технологическим процессом: |
Ручной |
| Автоматический | |
| Предельное давление в чистой, сухой камере, Па, не более: | 2×10-4 |
| Время откачки до давления 2×10-4 Па, мин. не более | 30 |
| Система охлаждения | Независимая, с рециркулятором |
| Габаритные размеры ВТО, м, не более: (длина × ширина × высота) | 2,9×2,3×2,4 |
| Масса, кг, не более: | 1700 |
Другие приборы раздела «Установки магнетронного распыления»Все приборы раздела
- Максимальный размер h130 x d235 мм
- Оборудование разработано для обеспечения времени цикла 50-100с
- Два DC магнетрона
- Маленькая площадь, легкость работы, гибкость
- Быстрый цикл нанесения
- Синхронизация работы с конвейером
- Исключение задержки между операциями операциями основной покраски(грунтовки), металлизации и завершающего напыления
- Использование стандартных держателей заказчика
