Терморефлектометрический изображающий микроскоп TRM250

  • TRM оборудование высокого разрешения на базе микроскопа
  • Возможность анализа образцов с помощью микрозондовых станции
  • Соответствие изображениям теплового отражения с различными длинами волн

Производитель NANOSCOPE Systems, Inc

Описание

TRM250 позволяет измерять распределение изменений коэффициента отражения света в зависимости от величины изменения температуры на поверхности или внутри определенной поверхности образца с помощью высокочувствительного оптического микроскопа. Данная технология позволяет получить информацию о тепловом изображении и обеспечивает превосходное разрешение термического изображения. TRM – это новый метод, который позволяет наблюдать за состоянием теплового распределения образца с суб-микрометровым пространственным разрешением, которое невозможно получить с помощью обычного метода теплового наблюдения.

Принцип работы

TRM микроскопия – это технология, которая вычисляет температуру исследуемого образца путем измерения оптического коэффициента отражения на основе физического явления, состоящего в том, что оптический коэффициент отражения образца изменяется в зависимости от температуры самого образца. Это позволяет получать тепловые изображения с высоким мкм разрешением, которые не могли быть получены ранее с помощью традиционных тепловизионных методов.

Обычное оптическое изображение

Обычное оптическое изображение

TRM изображение

TRM изображение

Отличительные особенности

  • TRM оборудование высокого разрешения на базе микроскопа
  • Возможность анализа образцов с помощью микрозондовых станции
  • Соответствие изображениям теплового отражения с различными длинами волн
  • Специальный высокоскоростной интерфейс нагрева/охлаждения
  • Визуализация переходного термического анализа (опциональный режим)
  • Доступна индивидуальная кастомизация

Переходный термический анализ (опциональный режим)

Используя импульсное освещение для измерения мгновенных изменений отраженного света при изменении температуры, можно добавить нестационарный термический анализ для наблюдения за изменением температуры во времени (10/30/50/70/100 мкс).

Примеры конфигураций TRM микроскопа

Примеры конфигураций

Характеристики

Модель TRM250
Увеличение рабочего объектива 5Х 10Х 20Х 50Х 100Х
Поле зрения объектива По горизонтали (мкм) 1330 1400 700 280 140
По вертикали (мкм) 1330 1050 525 210 105
Тип детектора КМОП
Спектральный рабочий диапазон 370 – 1100 нм
Горизонтальное пространственное разрешение 0.5 мкм
Разрешение по температуре 1°C
Количество пикселей для обычной визуализации 2048 × 2048
Количество пикселей для температурной визуализации 1024 × 1024
Подсветка Источник света Галогеновая лампа
Выходная мощность 150 Вт
Фильтровое колесо 472 / 534 / 586 / 625 / 661 нм + 1 пустой слот
TE нагреватель Диапазон температур От комн. темп. до 110°C
Скорость нагрева/охлаждения Нагрев от комн. темп. до 90°C – 2 мин
Охлаждение от 90°C до комн. темп. – 5 мин
Блок обработки данных Специализированный ПК
Источник питания Напряжение питания 100 – 240 В, перем. ток, 50/60 Гц
Энергопотребление Макс. 500 ВА

Примеры измерений

Экзотермическое измерение ширины линии диаграммы направленности

Экзотермическое измерение ширины линии диаграммы направленности

Углеродный лист

Углеродный лист

Экзотермические измерения структуры МЭМС

Экзотермические измерения структуры МЭМС

Измерение температуры микротранзистора

Измерение температуры микротранзистора

Микронагреватель

Микронагреватель

Температурное распределение в оксиде

Температурное распределение в оксиде индия/галлия/цинка

Тепловыделяющее микроустройство

Тепловыделяющее микроустройство

Габаритные размеры (в мм)