Микроустановка зондового контроля с керамическим типом нагревателя MPS-CHH

  • Температурный диапазон: комн. температура ~ +750 °С (MPS-CHН)
  • Размер предметного столика: ؽ дюйма
  • Скорость охлаждения/ нагрева: ≤1 °С/с
  • Термопара типа К
  • Предметный столик из алюминия
  • Зонд из Rh
  • Встроенный блок охлаждения

Производитель NEXTRON

Отличительные особенности

Микро установка зондового контроля типа керамический нагреватель это сверхминиатюрная установка зондового контроля с функциями контроля вакууума и температуры. Она может измерять электрические и диэлектрические свойства тонких пленок в температурном диапазоне от комнатной температуры до 750°С. Оборудована блоком охлаждения, понижающим температуру камеры для долгого времени функционирования. Также, возможно использовать микроскоп и сапфировое покрытие смотрового окна (или кварцевое стекло) для оптических измерений.

Отличительные особенности

  • Алюминиевая камера с небольшим весом (650-950 г), маленьким объемом (100 см3), низкопрофильная (24.5 мм)
  • Оригинальная конструкция ручных зондов или  пьезо-управляемых электрических зондов (4 зонда стандартно)
  • Температурный диапазон: комн. температура ~+ 750 °С (керамический тип нагревателя)
  • Диапазон от DС до RF (стандартно 30 МГц, возможно расширение до 300 МГц)
  • Окно из кварцевого стекла или сапфира до Ø=40 мм
  • Остаточное давление: ≤2x10-5 торр (турбонасос), ≤4x10-3 торр (ротационный насос)
  • Ручной зонд: температурный диапазон ≤450 °С, размер контакта 50 мкм
    Тонкая регулировка силы (диапазон от 0~50 г)
    Тонкая регулировка высоты (диапазон ±1 мм)


Схема системы зондового контроля MPS-CHH


Главная камера зондового контроля 

Области применения

  • Рамановская спектроскопия
  • Электролюминесценция& фотолюминесценция
  • Газовый датчик
  • Фотоэлектрическое устройство
  • Вольтамперные характеристики
  • Проверка полевого транзистора
  • Отражающая способность
  • Теплопроводность (3ω-метод)
  • Тепловой гистерезис
  • Наблюдение коммутирования сегнетоэлектрического домена

Примеры:

  • Картографирование фототоком
  • Характеристика резистивного газового датчика
  • Рамановская спектроскопия
  • Электрические измерения

Видео-обзор

Картографирование фототоком 1

Картографирование фототоком 2

Программное и аппаратное обеспечение температурного контроля

Аппаратное обеспечение

  • ПИД контроль
  • Программируемый температурный цикл с количеством шагов до 100
  • Отображение в режиме реального времени

Программное обеспечение

Характеристики электричества

DC

  • Остаточный ток: ˂100 пА (стандартный коаксиальный кабель) ˂100 фА (дополнительный трехпроводной коаксиальный кабель)
  • Максимальное напряжение постоянного тока/ сила тока: 500 В DC / 1000 мА
  • Программное обеспечение, управляемое истопником-измерителем Sourcemeter Keithley 2400 или 2401

RF

  • Максимальная частота без поправок: 30 МГц (При использовании анализатора цепей Agilent E5071C)
  • С помощью Lw  и Cp уменьшение измерений до 300-400 МГц: Опция

Эквивалентная цепь микро установки зондового контроля для измерений  RF

Технические характеристики


 
Наименование Единицы измерения Технические характеристики
Температурный диапазон комн.темп. ~750
Максимальная скорость охлаждения ℃/с 1
Максимальная скорость нагрева ℃/с 1
Температурная точность ± 0.5
Внутренний объем камеры см3 <100
Размеры предметного столика мм Ø 12.7
Метод зондирования 4 точек Без остановки
Длина хода зонда (ось абсцисс) мм 14
Смотровое отверстие мм 40 (сапфировое или кварцевое стекло)
Скорость утечки л*торр/с 1⨯10-7
Крепление вакуумной линии ¼ дюйма, стандартный быстроразъёмный фиттинг (Swagelok)
Крепление линии продувки ¼ дюйма, стандартный быстроразъёмный фиттинг (Swagelok)
Размеры (ШхГхВ) мм 140×70×24.5
Вес главной камеры г 650

Опции

  • > 4 зондов
  • Датчик влажности
  • Приспособление измерения полимерного конденсатора
  • И т.д.

Приспособление измерения полимерного конденсатора

Руководство по выбору

Объект исследований Спецификация
1

Температурный диапазон

-40°С~ +200 °С

Комн. темп~ +450 °С

Комн. темп~ +750 °С

-196 °С~ +27 °С

2

Разъем прибора

BNC TNC
3

Задняя сторона оптического канала

С каналом с обратной стороны (Единственная доступная модель от -40 °С ~+170 °С)