Микроустановка зондового контроля с керамическим типом нагревателя MPS-CHH
- Температурный диапазон: комн. температура ~ +750 °С / комн. температура ~ +1000 °C
- Размер предметного столика: Ø 12,7 мм
- Скорость охлаждения/ нагрева: 60 °С/с
- Смотровое отверстие 39 мм (сапфировое или кварцевое стекло)
Производитель NEXTRON
Отличительные особенности
Микро установка зондового контроля типа керамический нагреватель это сверхминиатюрная установка зондового контроля с функциями контроля вакууума и температуры. Она может измерять электрические и диэлектрические свойства тонких пленок в температурный диапазон: комн. температура ~ +750 °С / комн. температура ~ +1000 °C. Оборудована блоком охлаждения, понижающим температуру камеры для долгого времени функционирования. Также, возможно использовать микроскоп и сапфировое покрытие смотрового окна (или кварцевое стекло) для оптических измерений.
Отличительные особенности
- Алюминиевая камера с небольшим весом (650-950 г), маленьким объемом (100 см3), низкопрофильная (24.5 мм)
- Оригинальная конструкция ручных зондов или пьезо-управляемых электрических зондов (4 зонда стандартно)
- Температурный диапазон: комн. температура ~ +750 °С / комн. температура ~ +1000 °C(керамический тип нагревателя)
- Диапазон от DС до RF (стандартно 30 МГц, возможно расширение до 300 МГц)
- Окно из кварцевого стекла или сапфира до Ø=40 мм
- Остаточное давление: ≤2x10-5 торр (турбонасос), ≤4x10-3 торр (ротационный насос)
-
Ручной зонд: температурный диапазон ≤450 °С, размер контакта 50 мкм
Тонкая регулировка силы (диапазон от 0~50 г)
Тонкая регулировка высоты (диапазон ±1 мм)
Области применения
- Рамановская спектроскопия
- Электролюминесценция& фотолюминесценция
- Газовый датчик
- Фотоэлектрическое устройство
- Вольтамперные характеристики
- Проверка полевого транзистора
- Отражающая способность
- Теплопроводность (3ω-метод)
- Тепловой гистерезис
- Наблюдение коммутирования сегнетоэлектрического домена
Примеры:
- Картографирование фототоком
- Характеристика резистивного газового датчика
- Рамановская спектроскопия
- Электрические измерения
Видео-обзор
Программное и аппаратное обеспечение температурного контроля
Характеристики электричества
DC
- Остаточный ток: ˂100 пА (стандартный коаксиальный кабель) ˂100 фА (дополнительный трехпроводной коаксиальный кабель)
- Максимальное напряжение постоянного тока/ сила тока: 500 В DC / 1000 мА
- Программное обеспечение, управляемое истопником-измерителем Sourcemeter Keithley 2400 или 2401
RF
- Максимальная частота без поправок: 30 МГц (При использовании анализатора цепей Agilent E5071C)
- С помощью Lw и Cp уменьшение измерений до 300-400 МГц: Опция
Эквивалентная цепь микро установки зондового контроля для измерений RF
Технические характеристики
Наименование | Единицы измерения | Технические характеристики |
Температурный диапазон | ℃ | комн. температура ~ +750 °С / комн. температура ~ +1000 °C |
Максимальная скорость охлаждения | ℃/с | 60 |
Максимальная скорость нагрева | ℃/с | 60 |
Температурная точность | ℃ | ± 0.5 |
Внутренний объем камеры | см3 | <100 |
Размеры предметного столика | мм | Ø 12.7 |
Метод зондирования 4 точек | Без остановки | |
Длина хода зонда (ось абсцисс) | мм | 12 |
Смотровое отверстие | мм | 39 (сапфировое или кварцевое стекло) |
Скорость утечки | л*торр/с | 1⨯10-7 |
Крепление вакуумной линии | ¼ дюйма, стандартный быстроразъёмный фиттинг (Swagelok) | |
Крепление линии продувки | ¼ дюйма, стандартный быстроразъёмный фиттинг (Swagelok) | |
Размеры (ШхГхВ) | мм | 140×70×37 |
Вес главной камеры | г | 650 |
При температуре выше 450 °С необходимо подключить чиллер или проточную воду для охлаждения корпуса камеры. Компоненты внутри камеры могут повредиться при длительном пребывании при высокой температуре (> 450 °С).
Опции
- > 4 зондов
- Датчик влажности
- Приспособление измерения полимерного конденсатора
- И т.д.
Приспособление измерения полимерного конденсатора
Руководство по выбору
№ | Объект исследований | Спецификация | |||
1 |
Температурный диапазон |
-40°С~ +200 °С |
Комн. темп~ +450 °С |
Комн. темп~ +750 °С / комн. температура ~ +1000 °C |
-196 °С~ +27 °С |
2 |
Разъем прибора |
BNC | TNC | ||
3 |
Задняя сторона оптического канала |
С каналом с обратной стороны (Единственная доступная модель от -40 °С ~+170 °С) |