Микроустановка зондового контроля с керамическим типом нагревателя MPS-CHL

Микро установка зондового контроля типа керамический нагреватель это сверхминиатюрная установка зондового контроля с функциями контроля вакууума и температуры. Она может измерять электрические и диэлектрические свойства тонких пленок в температурном диапазоне от комнатной температуры до 450°С. Может функционировать без охлаждающего устройства. Также, возможно использовать микроскоп и сапфировое покрытие смотрового окна (или кварцевое стекло) для оптических измерений.

Отличительные особенности

• Алюминиевая камера с небольшим весом (650-950 г), маленьким объемом (100 см³), низкопрофильная (24.5 мм)
• Оригинальная конструкция ручных зондов или  пьезо-управляемых электрических зондов (4 зонда стандартно)
• Температурный диапазон: комн. температура ~+ 450 °С (керамический тип нагревателя)
• Диапазон от DС до RF (стандартно 30 МГц, возможно расширение до 300 МГц)
• Окно из кварцевого стекла или сапфира до Ø=40 мм
• Остаточное давление: ≤2x10^-5 торр (турбонасос), ≤4x10^-3 торр (ротационный насос)

• Ручной зонд: температурный диапазон ≤450 °С, размер контакта 50 мкм
  Тонкая регулировка силы (диапазон от 0~50 г)
  Тонкая регулировка высоты (диапазон ±1 мм)

Схема системы зондового контроля MPS-CHL

Главная камера зондового контроля 

• Рамановская спектроскопия
• Электролюминесценция и фотолюминесценция
• Газовый датчик
• Фотоэлектрическое устройство
• Вольтамперные характеристики
• Проверка полевого транзистора
• Отражающая способность
• Теплопроводность (3ω-метод)
• Тепловой гистерезис
• Наблюдение коммутирования сегнетоэлектрического домена

Примеры:

• Картографирование фототоком
  
• Характеристика резистивного газового датчика
  
• Рамановская спектроскопия
  
• Электрические измерения
  

Видео-обзор

Картографирование фототоком 1

Картографирование фототоком 2

Аппаратное обеспечение

• ПИД контроль
• Программируемый температурный цикл с количеством шагов до 100
• Отображение в режиме реального времени

Программное обеспечение

DC

• Остаточный ток: ˂100 пА (стандартный коаксиальный кабель) ˂100 фА (дополнительный трехпроводной коаксиальный кабель)
• Максимальное напряжение постоянного тока/ сила тока: 500 В DC / 1000 мА
• Программное обеспечение, управляемое истопником-измерителем Sourcemeter Keithley 2400 или 2401

RF

• Максимальная частота без поправок: 30 МГц (При использовании анализатора цепей Agilent E5071C)
• С помощью Lw  и Cp уменьшение измерений до 300-400 МГц: Опция

Эквивалентная цепь микро установки зондового контроля для измерений  RF