Микроустановка зондового контроля Пельтье типа MPS-PTH

  • Температурный диапазон: -40 °С ~ +170 °С
  • Размер предметного столика: 15 x 15 мм
  • Скорость охлаждения/ нагрева: ≤1 °С/с
  • Датчик PT100
  • Предметный столик из AlN
  • Зонд из Au/Inconel
  • Дополнительный датчик влажности
  • Освещение обратной стороны канала облучения Ø3.2

Производитель NEXTRON

Особенности и возможности

Микро установка зондового контроля типа отверстие Пельтье (MPS-PTH) это сверхминиатюрная установка зондового контроля с функциями котроля вакууума и температуры. Микро установка зондового контроля Пельтье типа оснащена системой охлаждения, которая поддерживает одинаковые скорости нагрева и охлаждения. Оборудование может измерять электрические и диэлектрические свойства тонких пленок в температурном диапазоне -40 ~+170 °С. Более того, доступны оптические измерения с использованием сапфирового покрытия смотрового окна, и могут быть использованы микроскопы для наблюдения за образцами. При использовании MPS Пельтье типа с отверстием (Ø3.2 мм), возможен зондовый контроль одновременно при освещении снизу.   Модель MPS с отверстием оптимизирована для исследования солнечных элементов.

Чтобы понизить температуру предметного столика Пельтье до -40 °С, используйте охлаждающую установку для поддержания горячей противоположной стороны предметного столика Пельтье около 5 °С.

Отличительные особенности

  • Алюминиевая камера с небольшим весом (650-950 г), маленьким объемом (100 см3), низкопрофильная (24.5 мм)
  • Оригинальная конструкция ручных зондов или  пьезо-управляемых электрических зондов (4 зонда стандартно)
  • Температурный диапазон -40 °С ~+ 170 °С
  • Диапазон от DС до RF (стандартно 30 МГц, возможно расширение до 300 МГц)
  • Окно из кварцевого стекла или сапфира до Ø=40 мм
  • Остаточное давление: ≤2x10-5 торр (турбонасос), ≤4x10-3 торр (ротационный насос)
  • Ручной зонд: температурный диапазон ≤450 °С, размер контакта 50 мкм
    Тонкая регулировка силы (диапазон от 0~50 г)
    Тонкая регулировка высоты (диапазон ±1 мм)

  • Разрешение: ˂ 50 нм
  • Сила: 1 Н (100 г)
  • Движение (X, Y) : ± 5.5 мм
  • Движение Z: ± 2.25 мм


Схема системы зондового контроля MPS-PTH


Главная камера зондового контроля 

Области применения

  • Рамановская спектроскопия
  • Фототок
  • Газовый датчик
  • Термоэлектрический элемент
  • Отражающая способность
  • Фотодетектор/ модулятор
  • Теплопроводность (3ω-метод)
  • Испытания полупроводниковых материалов
  • Тепловой гистерезис
  • Наблюдение коммутирования сегнетоэлектрического домена

Примеры:

  • Картографирование фототоком
  • Характеристика резистивного газового датчика
  • Рамановская спектроскопия
  • Электрические измерения

Видео-обзор

Картографирование фототоком 1

Картографирование фототоком 2

Программное и аппаратное обеспечение температурного контроля

Аппаратное обеспечение

  • ПИД контроль
  • Программируемый температурный цикл с количеством шагов до 100
  • Отображение в режиме реального времени

Программное обеспечение

Характеристики электричества

DC

  • Остаточный ток: ˂100 пА (стандартный коаксиальный кабель) ˂100 фА (дополнительный трехпроводной коаксиальный кабель)
  • Максимальное напряжение постоянного тока/ сила тока: 500 В DC / 1000 мА
  • Программное обеспечение, управляемое истопником-измерителем Sourcemeter Keithley 2400 или 2401

RF

  • Максимальная частота без поправок: 30 МГц (При использовании анализатора цепей Agilent E5071C)
  • С помощью Lw  и Cp уменьшение измерений до 300-400 МГц: Опция

Эквивалентная цепь микро установки зондового контроля для измерений  RF

Технические характеристики

Наименование Единицы измерения Технические характеристики
Температурный диапазон -40~+170
Максимальная скорость охлаждения ℃/с 1
Максимальная скорость нагрева ℃/с 1
Температурная точность ℃/с ±0.1
Внутренний объем камеры см3 ˂100
Размеры предметного столика мм 15х15 (Ø3.2)
Метод зондирования 4 точек Без остановки
Длина хода зонда (ось абсцисс) мм 14
Смотровое отверстие мм 40 (сапфировое или кварцевое стекло)
Скорость утечки л*торр/с 1х10-7
Крепление вакуумной линии ¼ дюйма, стандартный быстроразъёмный фиттинг (Swagelok)
Крепление линии продувки ¼ дюйма, стандартный быстроразъёмный фиттинг (Swagelok)
Размеры (ШхГхВ) мм 140х70х24.5
Вес главной камеры г 650

Опции

  • > 4 зондов
  • Датчик влажности
  • Приспособление измерения полимерного конденсатора
  • И т.д.

Приспособление измерения полимерного конденсатора

Руководство по выбору

Объект исследований Спецификация
1

Температурный диапазон

-40°С~ +200 °С

Комн. темп~ +450 °С

Комн. темп~ +750 °С

-196 °С~ +27 °С

2

Разъем прибора

BNC TNC
3

Задняя сторона оптического канала

С каналом с обратной стороны (Единственная доступная модель от -40 °С ~+170 °С)