Анализатор параметров устройств FS800

FS800 – это многофункциональный анализатор параметров устройств, предлагающий высокоточный анализ вольт-амперных (IV) и вольт-емкостных (CV) характеристик, быструю генерацию и измерение формы сигнала, тестирование низкочастотного шума и высокоскоростное получение сигнала во временной области с гибкими параметрами конфигурации. Этот прибор может широко использоваться, но не ограничиваться, в новых исследованиях материалов и устройств, тестировании электрических параметров, моделировании устройств, оценке надежности устройств.

FS800 оснащен 18.5-дюймовым сенсорным экраном и использует гибкую модульную архитектуру, поддерживая управление высокоточными SMU, матричными коммутаторами, наборами для быстрой генерации/измерения формы сигнала и высокоточными модулями LCR. Система способна совмещать до 24 SMU или 132-канальный матричный коммутатор, что обеспечивает единое решение для автоматизированного электрического параметрического тестирования на уровне подложек. Встроенное программное обеспечение LabExpress предоставляет пользователям широкий набор мощных функций и обширную библиотеку прикладных тестов, облегчая управление как оборудованием Primarius, так и сторонними приборами.

FS800 может значительно ускорить инновации в исследованиях, разработках и производстве новых устройств, процессов и материалов, удовлетворяя разнообразные требования к испытаниям приложений от лабораторий полупроводников до производственных линий.

• Параметрическое тестирование CMOS
  • Параметрическое тестирование транзисторов MOSFET и BJT
  • Параметрическое тестирование диодов и PN-переходов
  • Параметрическое тестирование MEMS и датчиков
• Параметрическое тестирование новых материалов и устройств
  • Параметрическое тестирование тонкопленочных транзисторов и устройств отображения
  • Параметрическое тестирование 2D-материалов и фотодетекторов
  • Параметрическое тестирование энергонезависимой памяти и материалов
  • Параметрическое тестирование нейроморфных устройств и мемристоров
  • Параметрическое тестирование гибкой электроники и носимых устройств
• Характеристика устройства
• Моделирование устройства
• Анализ надежности устройства
• Производственные испытание

Аппаратная часть

• Расширяемый базовый блок анализатора полупроводниковых приборов
  • Гибкая модульная архитектура с поддержкой SMU модулей и матричных коммутаторов в одном приборе для автоматизированного параметрического тестирования на уровне подложек
  • Поддержка многоканального параллельного тестирования
  • Дополнительный интерфейс GPIB
  • Дополнительное модульное шасси PXI
• Высокоточный SMU модуль FS81
  • Разрешение измерения тока до 0.1 фА
  • Высокая точность до 15 фА
  • Напряжение до 200 В, ток до 1 А и мощность 20 Вт
  • Частота дискретизации до 1.5 МС/с
• Модуль FS821 выходного сигнала матричного коммутатора с низкой утечкой
  • 12 триаксиальных выходов
  • До 200 В переносимого напряжения и 1 А переносимого тока
  • До 100 фА тока смещения
  • Полоса пропускания до 30 МГц
• Комплект FK401B для быстрой генерации/измерения сигналов
  • 2 быстрых ВАХ канала каждого модуля, до 10 В и 10 мА
  • Частота дискретизации до 100 МС/с
  • Длительность импульса до 130 нс
  • Поддержка сквозного пропускания SMU
  • Возможность расширения до 5 модулей (10 каналов)
• Модуль FS338/FS339 LCR высокой точности
  • Диапазон смещения 40 В постоянного тока
  • Полоса пропускания FS338: ≈ 20 Гц…2 МГц
  • Полоса пропускания FS339: ≈ 20 Гц…10 МГц

Программная часть

FS800 поставляется с предустановленным программным обеспечением LabExpress, которое помогает полностью раскрыть мощную производительность FS800 и ускорить задачи характеризации на любом этапе процесса. LabExpress — это профессиональное программное обеспечение на основе графического интерфейса для приложений по тестированию электрических параметров в различных исследованиях, по оценке процессов и производству полупроводниковых приборов. LabExpress поддерживает широкий спектр испытательных приборов, мощные функции измерения и анализа, а также гибкие возможности настройки.

• Анализ IV, CV, переходной IV характеристик, высокоскоростная генерация и измерение формы сигнала
• Тест надежности по стандарту JEDEC, такой как HCI, BTI, TDDB, RAMP
• Обширная библиотека прикладных тестов помогает быстро и легко приступить к работе
• Встроенные различные алгоритмы генерации сигналов и функции развертки позволяют получать сложные изображения формы сигнала без программирования
• Встроенная мощная функция анализа данных, которая позволяет проводить немедленный анализ и сравнение характеристик устройства после тестирования
• Несколько форматов данных позволяют выполнять дальнейший анализ и импортировать данные в инструмент моделирования
• Встроенная платформа программирования сценариев поддерживает настраиваемый алгоритм, поток испытаний и сложные вычисления
• Обновленная версия ATS оптимизирована для автоматизированного тестирования на уровне подложек

Гибкое многооконное тестирование электрических параметров

Удобный интерфейс тестирования на уровне подложек