Система тестирования параметров полупроводников FS-Pro

FS-Pro – это многофункциональный анализатор параметров полупроводников, эффективно объединяющий высокоточный анализ вольт-амперных (IV) и вольт-емкостных (CV) характеристик, импульсный анализ IV, анализ переходных IV, генерацию и измерение произвольной линейной формы сигнала, высокоскоростное получение сигнала во временной области и возможность тестирования низкочастотного шума. Мощные функциональные возможности тестирования и анализа значительно ускоряют исследование устройств и оценку процессов. FS-Pro можно использовать совместно с системой измерения низкочастотного шума серии 9812, что значительно повышает эффективность и пропускную способность тестирования шума. FS-Pro также поддерживает параллельное тестирование, что значительно повышает эффективность измерений.

FS-Pro использует модульную архитектуру PXI для сохранения компактного размера и обеспечения будущей расширяемости, а встроенное в систему профессиональное программное обеспечение LabExpress предоставляет пользователям широкий набор мощных функций для тестов.

FS-Pro имеет широкий спектр применения в области полупроводниковых приборов, светодиодных материалов, двумерных материалов, наноматериалов и новых устройств.

FS-Pro получила широкое признание клиентов и отрасли благодаря своей комплексной функциональности тестирования. Система была принята не только ведущими проектными компаниями, заводами и структурами, но и многими университетами и академическими исследовательскими институтами мирового уровня.

• Конструкция «все в одном»
  • Высокоточный анализ IV, CV, импульсной IV и переходной IV и тестирование шума 1/f всех параметров в одном устройстве
  • Обеспечивает полное низкочастотное параметрическое тестирование без переключения кабелей или соединений зондов
• Широкий диапазон и высокая точность
  • Высокоскоростная получение сигнала во временной области и генерация произвольной линейной формы сигнала
• Модульная архитектура
  • Обеспечивает гибкость и расширяемость конфигурации системы тестирования
• Простота использования
  • Встроенное программное обеспечение LabExpress предлагает интуитивно понятный графический интерфейс и поддерживает мощные функции измерения и анализа, может синхронно генерировать любое напряжение и отслеживать форму сигнала без сложного программирования
• Функционирует как внутренний модуль SMU 9812DX
  • Простое интегрирование с системами тестирования шума 9812D/DX и программным обеспечением NoiseProPlus для повышения скорости тестирования шумов

• Оптоэлектронные приборы и измерения MEMS
• Измерение современных материалов и приборов
• Неразрушающие измерения и контроль
• Измерение сверхнизкочастотного шума
• Испытание надежности прибора
• Испытание прибора сверхкороткими импульсами

Аппаратная часть

• Анализ IV
  • Диапазон напряжения смещения ±200 В/1 А, работа в 4 квадрантах
  • Минимальная точность тока 30 фА, точность измерения напряжения 30 мкВ
  • Максимальная выходная мощность 20 Вт
• Анализ CV
  • Встроенный CV: диапазон смещения постоянного тока ±200 В, максимальная полоса пропускания 10 кГц, диапазон измерения ≈ 20 фФ…1 мФ
  • Внешний LCR: диапазон смещения постоянного тока ±40 В, максимальная полоса пропускания ≈ 20 Гц…10 МГц, диапазон измерения ≈ 10 фФ…10 мФ
• Импульсной анализ IV
  • Диапазон напряжения смещения ±200 В/3 А
  • Минимальная точность измерения тока 5 пА, точность измерения напряжения 30 мкВ
  • Максимальная выходная мощность 480 Вт, минимальная длительность импульса 50 мкс
• Анализ переходных IV
  • Выходной сигнал произвольной формы
  • Максимальная частота дискретизации 1.8 МС/с, минимальный временной шаг 10 мкс
• Анализ 1/f шума
  • Стандартная полоса пропускания 100 кГц, поддержка RTN
  • Минимальное разрешение по частоте 1 мГц, измерение до 2×10^-28 A2/Гц
  • Минимальное сопротивление тестируемого устройства: 500 Ом
• Высокоскоростное получение сигнала во временной области
  • 2-канальный, интерфейс SMA
  • Быстрый тест IV: напряжение ± 10 В, максимальный ток 10 мА
  • Прямое подключение SMU: входное напряжение ± 25 В, максимальный ток 100 мА
  • Частота дискретизации 100 мвыб/с, минимальная рекомендуемая ширина импульса 130 нс

Программная часть

• LabExpress предлагает интуитивно понятный графический интерфейс и поддерживает мощные функции измерения и анализа
• Полные функции измерения DC IV, импульсной IV, переходной IV, CV и шума 1/f
• Поддержка измерения напряжения и проверки надежности HCI, BTI, TDDB, GOI (V-Ramp, J-Ramp)
• Встроенные типы устройств: MOSFET, BJT, диод, резистор, конденсатор; имеет множество предустановок измерений, позволяющих пользователю эффективно и легко выполнять тестирование
• Функции анализа данных, такие как преобразование кривых и построение графиков, позволяют выполнять анализ характеристик устройства за короткое время
• Поддержка нескольких форматов вывода данных для дальнейшего анализа: данные можно загружать в программное обеспечение для моделирования, такое как BSIMProPlus и MeQLab, для извлечения модели
• Профессиональная версия LabExpress поддерживает управление полуавтоматической зондовой станцией, матричным коммутатором для картирования пластин и автоматизации тестирования. Функционал параллельного тестирования значительно повышает эффективность измерений

Примеры применений