Предметный столик для картирования

  • Воспроизводимость перемещения: 1 мкм
  • Точность перемещения: 0.05 мкм (мин.), 0.1 мкм (типовая)
  • Пространственное разрешение: 1 мкм
  • Сканирование 50 мм подложек с шагом 1 мм за 8-9 минут при минимальном времени интегрирования

Производитель DXG

Описание

  • Диапазон перемещений по XY: 76 × 52 мм (опционально до 100 × 100 мм)
  • Воспроизводимость перемещения: 1 мкм
  • Точность перемещения: 0.05 мкм (мин.), 0.1 мкм (типовая)
  • Пространственное разрешение: 1 мкм
  • Сканирование 50 мм подложек с шагом 1 мм за 8-9 минут при минимальном времени интегрирования
  • Сканирование области 30 × 30 мкм с шагом 0.1 мкм в течение 5 часов при минимальном времени интегрирования
  • Сканирование области 30 × 30 мкм с шагом 1 мкм в течение 3 минут при минимальном времени интегрирования
  • Пластинка для наклона образцов