Скрайбирование

Резка и скрайбирование кремния, стекла и сапфира

Использование лазерных технологий для производства фотонных компонентов является очень важным достижением. Одним из направлений в данной области является резка диодов, испускающих свет, выращенных на сапфировой подложке, на кристаллы. Однако сапфир, благодаря его высокой твердости и химической устойчивости, тяжело обрабатывать механически. Поэтому лазерная микрообработка – это потенциальной метод для резки сапфира.

Компания ELAS запатентовала технологию резки прозрачных материалов, основанную на использовании лазерного излучения с ультракороткой длительностью импульса на двух длинах волн и их пространственной и временной подстройке. Оптимизация параметров для микрообработки (энергия импульса, плотность энергии импульса, частота следования импульсов, условия фокусировки и т.д.) позволила получить высокое качество скрайбирования и увеличить скорость обработки.

Компания также предлагает решения с нано-, пико- и фемтосекундными лазерами для микрообработки прозрачных материалов. Разработанная технология резки стекла позволяет добиться высокой скорости и качества резки по прямой или изогнутой линии.

Оборудование для лазерной резки сапфиров, стекла и кремниевых пластин:

  • Тип лазера: пс / фс
  • Средняя мощность: 6 Вт / 4  Вт 
  • Длительность импульса: < 13 пс
  • Диапазон перемещений столика: XYZ: 600 × 400 × 200 мм + XY: 150 × 150 мм + вращение*
Узнать цену
  • Тип лазера: DPSS, пс / фс
  • Длина волны лазера: 1064 / 1030 нм
  • Средняя мощность: 6 / 4 Вт
  • Длительность импульса: < 10 пс / < 290 фс
  • Диапазон перемещений столика: (XY) 300×300 мм
Узнать цену

Компоненты для построения систем для лазерной микрообработки:

  • Решения для микрообработки
  • Выходная мощность до 30 Вт на 355 нм
  • Выходная мощность до 40 Вт на 532 нм
  • Выходная мощность до 80 Вт на 1064 нм
  • Длительность импульса 10 ± 3 пс
  • Низкая стоимость содержания
Узнать цену
  • Выходная мощность до 16 Вт
  • Частота следования импульсов 88 МГц
  • Длительность импульса менее 8 пс
  • Доступно излучение на длинах волн 1064 нм, 532 нм и 355 нм
  • Не требуется подключение внешней системы водяного охлаждения
Узнать цену
  • Решения для микрообработки
  • Энергия импульса до 30 мкДж
  • Частота следования импульсов до 1 МГц
  • Выходная мощность до 5 Вт
  • Воздушное охлаждение
  • Режим пакета импульсов
  • Низкая стоимость содержания
Узнать цену